具体描述
《微纳尺度制造工程(第3版)(英文版)》是The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication 的第三版。《微纳尺度制造工程(第3版)(英文版)》系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。《微纳尺度制造工程(第3版)(英文版)》新增加的内容包括原子层淀积、电镀铜、浸润式光刻、纳米压印与软光刻、薄膜器件、有机发光二极管以及应变技术在CMOS工艺中的应用等，对于其他已经过时的或不再具有先进性的题材则做了适当的简化或删除处理。
《微纳尺度制造工程(第3版)(英文版)》可作为高等学校微电子专业本科生和研究生相应课程的教科书或参考书，也可供与集成电路制造工艺技术有关的专业技术人员学习参考。
作者简介
目录信息
读后感
评分
评分
评分
评分
用户评价
我一直对物理学和工程学交叉领域的新兴技术充满热情，而《微纳尺度制造工程》这本书，正好满足了我对这一领域的求知欲。刚拿到书，我就被其中涉及到的前沿概念所吸引，比如如何“制造”出比头发丝还要细小的结构。我花了相当长的时间去钻研“光刻技术”的细节，从光刻胶的化学原理，到曝光、显影、刻蚀的整个工艺流程，书中都做了非常细致的讲解。我尤其对“深紫外光刻”（DUV）和“极紫外光刻”（EUV）在提升芯片制造精度方面的作用印象深刻。书中还详细介绍了“电子束直写”（EBL）技术，它能够实现极高的分辨率，是探索新材料和设计新器件的重要工具。我对于“聚焦离子束”（FIB）在纳米材料的三维加工和精确修饰方面的应用也进行了深入的学习，它为我提供了解决复杂制造难题的新思路。此外，书中关于“微纳机器人”的设计和制造的章节，让我看到了工程技术在生命科学领域的巨大潜力，想象着这些微型助手在体内进行诊断和治疗的未来场景，简直令人兴奋。我还会重点关注书中关于“微纳传感器”的制造工艺，了解如何将微小的传感元件集成到复杂的系统中，以实现高灵敏度和高选择性的检测。这本书为我提供了一个关于微纳制造领域全面而深入的视角，让我有机会接触到那些推动科技进步的精密制造技术。
评分对我而言，《微纳尺度制造工程》这本书不仅仅是一本技术手册，更像是一次关于未来科技的探索之旅。当我翻开这本书时，我立刻被其中描绘的微观世界所吸引，想象着在这个尺度上进行“制造”是多么令人兴奋的事情。书中关于“光刻技术”的详细讲解，让我对半导体制造的复杂性和精妙性有了更深刻的理解。我花了很长时间去研究不同类型光刻机的原理和应用，以及“掩模版”制作过程中对精度的极致追求。我对“电子束直写”（EBL）和“聚焦离子束”（FIB）技术在纳米结构制造和表征方面的作用印象深刻，它们为突破传统制造极限提供了可能。书中还详细介绍了“微纳3D打印”技术，这项技术能够快速成型复杂的三维微结构，这对于开发新型微流控芯片、微型生物传感器等应用具有颠覆性的意义。我还会重点关注书中关于“表面微纳化处理”的技术，了解如何通过等离子体处理、纳米压印等方法来赋予材料特殊的表面性能，例如超疏水性、自清洁性，或者提高其生物相容性，这对于改善器件的性能和拓展应用领域至关重要。我特别对书中关于“微纳器件的集成与封装”的章节进行了深入学习，这部分内容让我意识到，在微纳尺度下，如何有效地将单个器件连接起来，形成功能完整的系统，同样是一个充满挑战与机遇的领域。这本书为我提供了一个关于微纳制造领域全面而深入的知识体系，让我有机会接触到那些推动科技进步的精密制造技术。
评分《微纳尺度制造工程》这本书，简直就是为我这种对精密科学“上头”的读者量身打造的！从书名上就能看出它涵盖的范围相当广泛，我最关心的自然是那些能够将微观世界“具象化”的制造技术。我花了很多时间仔细阅读了关于“光刻技术”的部分，书中对其原理、不同类型（如步进式、扫描式）以及关键参数（如分辨率、套刻精度）的讲解堪称教科书级别。我尤其喜欢书中对“掩模版”制作工艺的介绍，这涉及到高精度的图形设计和刻划，对我来说是全新的领域。此外，关于“电子束直写”（EBL）和“聚焦离子束”（FIB）的章节也让我大开眼界，它们展现了如何在纳米尺度上实现更精细的图案绘制和材料的精确加工，这对于研发新型纳米材料和器件有着不可替代的作用。书中还深入探讨了“微纳3D打印”技术，包括基于光固化、材料挤出等不同原理的微纳打印方法，以及它们在制造复杂三维微结构方面的优势。我设想利用这些技术来制造微型化的生物传感器、微流控芯片，甚至是用于药物递送的微纳机器人，这让我对未来的生物医学工程充满了期待。读到关于“表面微纳化处理”的章节时，我更是惊喜，书中介绍了如何通过等离子体处理、化学气相沉积（CVD）等方法来改变材料的表面特性，以实现特定的功能，如超疏水性、抗菌性等，这对于提升微纳器件的性能至关重要。总之，这本书为我提供了一个系统而深入的视角，让我理解了微纳尺度下制造的复杂性与可能性。
评分对于我这样长期从事精密仪器研发的人来说，一本能够深入探讨微纳尺度制造工程的书籍，简直就是雪中送炭。当我翻开《微纳尺度制造工程》时，我就知道我找到了一本极具价值的参考资料。我花了很长时间去理解书中关于“微纳加工的通用方法”的介绍，特别是对“光刻”技术不同流派的详细分析，从传统的接触式和接近式光刻，到现代的深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻，书中都给出了清晰的原理阐述和工艺流程。我对“掩模版”的制备技术尤为感兴趣，这涉及到高分辨率的图形转移，对后续的微纳器件精度有着决定性的影响。此外，书中关于“刻蚀技术”的论述也让我受益匪浅，无论是湿法刻蚀的化学反应机理，还是干法刻蚀（如反应离子刻蚀 RIE）的等离子体物理过程，都得到了详尽的解释。我特别关注了书中关于“微纳机器人”设计与制造的部分，设想它们在体内进行微创手术或靶向给药的场景，这种前景令人激动。另外，书中对“微纳传感器”的制造工艺也做了深入的介绍，这对我开发新型高灵敏度检测设备非常有启发。我还会仔细研读关于“表面微纳化处理”的章节，了解如何通过物理或化学方法改变材料表面的形貌和性能，以满足特定的应用需求，比如制造超疏水表面或生物相容性好的材料。总之，这本书为我提供了一个关于微纳制造领域全面而深入的知识体系，是值得反复研读的宝藏。
评分从我接触工程领域伊始，对那些能够实现精密控制和复杂功能的微小结构就充满了好奇。《微纳尺度制造工程》这本书，恰好满足了我对这个领域的探究欲。我花了大量时间去理解书中关于“微纳加工的基本原理”的阐述，特别是对“光刻技术”的深入分析，从曝光原理到掩模设计，再到各种光刻技术的优劣势分析，书中都给出了深刻的见解。我对“电子束刻蚀”（EBL）和“聚焦离子束”（FIB）在纳米尺度上的精细加工能力尤为着迷，它们能够实现比光学方法更高的分辨率，这对于研发新型纳米材料和结构至关重要。书中还深入探讨了“微纳3D打印”技术，这项技术能够制造出复杂的三维微结构，这为我提供了在微流控、生物医学工程等领域进行创新的可能性。我还会仔细阅读关于“表面微纳化处理”的章节，了解如何通过各种物理和化学方法来改变材料的表面性能，例如实现超疏水性、抗菌性或改善生物相容性。书中丰富的图例和详细的流程描述，让我能够清晰地把握每一个制造环节的关键点。我尤其对书中关于“微纳执行器”和“微纳泵”的设计与制造的介绍感到振奋，它们是构建微型化设备的核心组件，其发展将极大地推动微机电系统（MEMS）的发展。这本书为我提供了一个关于微纳制造领域全面而深入的知识体系，是值得反复研读的宝藏。
评分我一直对那些肉眼几乎看不见的精巧机械和器件充满了敬畏，所以《微纳尺度制造工程》这个书名立刻就抓住了我的眼球。拿到书后，我做的第一件事就是翻阅目录，想看看它究竟能带我领略哪些神奇的微纳制造技术。读了大概三分之一，我必须说，这本书的深度和广度都远超我的预期。它不仅仅停留在理论层面，更是深入到各种具体的制造方法和工艺流程。我尤其对书中所描述的“减材制造”和“增材制造”在微纳尺度下的区别和应用感到兴奋。例如，对于刻蚀技术，书中详细介绍了湿法刻蚀和干法刻蚀的原理、优缺点以及在不同材料上的适用性。我还在书中看到了关于微纳加工中“图形转移”和“掩模制作”的关键步骤，这些细节对于理解整个制造流程至关重要。此外，书中对于“表面工程”和“微纳器件的封装”也有专门的章节，这部分内容让我意识到，在微纳尺度下，如何保护和优化器件的表面以及如何有效地将这些微小器件集成到更大的系统中，同样是挑战与机遇并存的领域。我特别关注了书中关于“微纳执行器”和“微纳传感器”的设计与制造方法，这让我对未来的智能设备和医疗诊断工具充满了想象。书中大量的图示和流程图，让原本抽象的技术概念变得生动易懂。它就像一位经验丰富的工程师，一步一步地引导我走进微纳制造的殿堂，让我有机会了解那些构建我们现代科技基石的精密工艺。对我来说，这本书不仅仅是知识的获取，更是一次对精密制造领域创新潜力的深度探索。
评分我一直对那些能够改变我们生活方式的颠覆性技术非常关注，《微纳尺度制造工程》这本书，正是这样一本激发我无限遐想的读物。当我翻开它的时候，我就被书中描绘的微纳世界深深吸引。我迫不及待地想知道，我们究竟是如何在如此微小的尺度上进行“创造”的。书中关于“光刻技术”的深入讲解，让我对半导体产业的核心制造工艺有了更清晰的认识。我花了大量时间去理解不同类型光刻机的原理和应用，以及“掩模版”制作过程中对精度的极致追求。我对“电子束直写”（EBL）和“聚焦离子束”（FIB）技术在纳米结构制造和表征方面的作用印象深刻，它们为突破传统制造极限提供了可能。书中还详细介绍了“微纳3D打印”技术，这项技术能够快速成型复杂的三维微结构，这对于开发新型微流控芯片、微型生物传感器等应用具有颠覆性的意义。我还会重点关注书中关于“表面微纳化处理”的技术，了解如何通过等离子体处理、纳米压印等方法来赋予材料特殊的表面性能，例如超疏水性、自清洁性，或者提高其生物相容性，这对于改善器件的性能和拓展应用领域至关重要。我特别对书中关于“微纳器件的集成与封装”的章节进行了深入学习，这部分内容让我意识到，在微纳尺度下，如何有效地将单个器件连接起来，形成功能完整的系统，同样是一个充满挑战与机遇的领域。这本书为我提供了一个关于微纳制造领域全面而深入的知识体系，让我有机会接触到那些推动科技进步的精密制造技术。
评分一直以来，我对那些隐藏在日常生活中、却又发挥着至关重要作用的微小结构和器件感到非常着迷。因此，《微纳尺度制造工程》这本书的出现，仿佛为我打开了一扇通往奇妙微观世界的大门。我迫不及待地想要了解，究竟是什么样的技术，能够让我们在如此微小的尺度上进行“创造”。书中关于“微纳加工的基本原理”的章节，让我对“光刻”技术有了更深刻的认识。我花了大量时间去理解不同类型光刻机的特点，比如步进曝光和扫描曝光，以及它们在提高生产效率和精度方面的考量。我对“掩模版”的制作工艺也进行了细致的研究，这部分内容涉及到高精度的图形设计和加工，是我之前不太了解的领域。书中对“电子束刻蚀”（EBL）的详细介绍，尤其让我感到惊叹，它能够实现比光学光刻更高的分辨率，是研发尖端半导体器件和纳米结构的关键技术。此外，“聚焦离子束”（FIB）在材料的精细加工和三维形貌构建方面的应用，也让我看到了其在纳米科学研究中的巨大潜力。我还会重点关注书中关于“微纳3D打印”技术的章节，它能够实现复杂三维微结构的快速成型，为制造新型微流控器件、微型传感器提供了新的可能性。我特别对书中关于“表面微纳化处理”的技术进行了深入学习，了解了如何通过等离子体处理、纳米压印等方法来改变材料的表面性能，从而实现特定的功能，如提高器件的集成度或改善其生物相容性。这本书为我提供了一个系统性的知识框架，让我能够更全面地理解微纳制造的魅力与挑战。
评分这本书简直是为那些对微纳世界充满好奇，又希望亲手“捏造”出精密器件的工程师和科研人员量身定做的！我当初选择它，纯粹是被“微纳尺度制造”这几个字所吸引，感觉它像一把钥匙，能开启一个我从未触及过的精密制造领域。拿到手后，翻开第一页，就被其中涉及到的各种新颖的制造技术深深吸引。我特别想了解的是，在如此微小的尺度下，我们如何才能精确地控制材料的沉积、去除和组装？书中对光刻、电子束刻蚀、聚焦离子束以及各种微纳3D打印技术的原理和应用做了非常详尽的阐述。我印象最深刻的是关于光刻技术的介绍，它不仅解释了如何利用光束在光刻胶上“雕刻”出纳米级的图案，还深入剖析了不同类型光刻技术（如深紫外光刻、极紫外光刻）的优劣势以及它们在半导体制造中的关键作用。此外，书中对微纳机器人的设计和制造也进行了精彩的描绘，我设想着用这些微型机器人来完成药物输送、细胞操作等生物医学应用，简直太有未来感了。书中还穿插了大量的实例和案例研究，让我能够直观地感受到这些前沿技术是如何转化为实际产品的，比如微流控芯片在诊断领域的应用，或者是微纳传感器在环境监测中的潜力。读到关于“自组装”技术的章节时，我更是激动不已，想象着未来材料能够自己“聪明”地按照预设的规则排列组合，大大降低制造的复杂性和成本，这对我来说是一个全新的视角。而且，书中对材料的选择和表面处理的细节也讲得很到位，毕竟在微纳尺度下，材料的表面性质往往比体相性质更为重要。总而言之，这本书让我对微纳制造工程的广度和深度有了全新的认识，它不仅仅是一本技术手册，更是一本激发创新灵感的宝库。
评分作为一名对材料科学和工程应用有着浓厚兴趣的读者，《微纳尺度制造工程》这本书的内容，无疑为我打开了一个全新的视野。我原本就对精细化制造有着强烈的探究欲，而这本书恰好满足了我的好奇心。我花了很长时间去理解书中关于“微纳加工的基本工艺”的阐述，尤其是对“光刻技术”的详细介绍，从曝光原理到掩模设计，再到各种光刻技术的优劣势分析，书中都给出了深刻的见解。我对“电子束刻蚀”（EBL）和“聚焦离子束”（FIB）在纳米尺度上的精细加工能力尤为着迷，它们能够实现比光学方法更高的分辨率，这对于研发新型纳米材料和结构至关重要。书中还深入探讨了“微纳3D打印”技术，它能够制造出复杂的三维微结构，这为我提供了在微流控、生物医学工程等领域进行创新的可能性。我还会仔细阅读关于“表面微纳化处理”的章节，了解如何通过各种物理和化学方法来改变材料的表面性能，例如实现超疏水性、抗菌性或改善生物相容性。书中丰富的图例和详细的流程描述，让我能够清晰地把握每一个制造环节的关键点。我尤其对书中关于“微纳执行器”和“微纳泵”的设计与制造的介绍感到振奋，它们是构建微型化设备的核心组件，其发展将极大地推动微机电系统（MEMS）的发展。这本书为我提供了一个关于微纳制造领域全面而深入的知识体系，是值得反复研读的宝藏。
评分佘总教的课，他的风格我特别喜欢，自身严谨而且学富五车，可谓是中山大学中最为优秀的教授之一了！当然书也是贯穿了很多物理学的东西，详细而且脉络清晰！
评分佘总教的课，他的风格我特别喜欢，自身严谨而且学富五车，可谓是中山大学中最为优秀的教授之一了！当然书也是贯穿了很多物理学的东西，详细而且脉络清晰！
评分佘总教的课，他的风格我特别喜欢，自身严谨而且学富五车，可谓是中山大学中最为优秀的教授之一了！当然书也是贯穿了很多物理学的东西，详细而且脉络清晰！
评分佘总教的课，他的风格我特别喜欢，自身严谨而且学富五车，可谓是中山大学中最为优秀的教授之一了！当然书也是贯穿了很多物理学的东西，详细而且脉络清晰！
评分佘总教的课，他的风格我特别喜欢，自身严谨而且学富五车，可谓是中山大学中最为优秀的教授之一了！当然书也是贯穿了很多物理学的东西，详细而且脉络清晰！
相关图书
本站所有内容均为互联网搜索引擎提供的公开搜索信息，本站不存储任何数据与内容，任何内容与数据均与本站无关，如有需要请联系相关搜索引擎包括但不限于百度，google,bing,sogou 等
© 2026 book.quotespace.org All Rights Reserved. 小美书屋 版权所有