具体描述
《微纳米加工技术及其应用(精)》集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子柬曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。对各种加工技术的介绍着重讲清原理，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条件的由来，并注意给出典型的工艺参数；充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项；以大量图表与实例说明各种加工方法，避免烦琐的数学分析；并以专门一章介绍了微纳米加工技术在现代高新技术领域的应用，演示了如何灵活应用微纳米加工技术来推动这些领域的技术进步。
与国内外同类出版物相比，《微纳米加工技术及其应用(精)》的显著特点是将用于超大规模集成电路生产、微机电系统制造与纳米技术研究的微纳米加工技术进行综合介绍，并加以比较；首次将微纳米加工归纳为平面工艺、探针工艺和模型工艺3种主要类型，突出了微纳米加工与传统加工技术的不同之处。全书既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的最新进展，并列举了大量参考文献与互联网链接网址，供读者进一步发掘详细信息与深人研究，因此不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生，还是对已经有一定工作经验的专业科技人员，都具有很好的参考价值。
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用户评价
作为一个对精密机械和微型化产品充满向往的读者，这本书中的“微纳米机电系统（MEMS）及其在智能制造中的应用”章节，简直是为我量身定做的。我一直很好奇，那些小到肉眼几乎看不见的传感器、执行器，是如何被制造出来的，又是如何集成到我们日常生活中的各种智能设备里的。这本书详细地解释了MEMS技术的原理，包括微小的齿轮、弹簧、甚至是微电机是如何通过微纳米加工技术被“打印”出来的。书中列举了许多MEMS器件的实际应用案例，比如汽车中的安全气囊传感器、手机中的陀螺仪和加速度计、以及工业自动化中的微型机器人。我尤其对MEMS技术在“智能制造”中的作用印象深刻。书中描述了如何利用大量的MEMS传感器来监测生产过程中的每一个环节，从而实现高度自动化的质量控制和生产优化。这让我意识到，微小的技术进步，最终汇聚成宏大的工业革命。这本书让我对“智能化”的内涵有了更深的理解，原来它不仅仅是软件的算法，更是硬件在微观层面的精巧设计和集成。
评分坦白说，我最初是被这本书的“应用”部分吸引过来的。毕竟，理论性的技术固然重要，但它最终是为了服务于实际的生产和生活。这本书在介绍完基础的微纳米加工技术之后，立刻转向了各种令人惊叹的应用场景，这一点做得非常棒。我重点看了关于“微流控芯片在生物医学领域的应用”这一章节。书中描述了如何利用微纳米技术制造出能够模拟人体器官功能的微流控芯片，比如“人工肝脏”、“人工肺”等。这些芯片能够进行药物筛选、毒性测试、疾病诊断，甚至可以用于个性化医疗的研究。我当时简直惊呆了，原来那些科幻电影里的场景，在实验室里已经悄然成为现实。书中还用很多具体的案例说明了微流控技术在疾病早期诊断中的优势，例如通过微量的血液样本就能快速、准确地检测出多种疾病的标志物，这对于挽救生命、提高生活质量具有划时代的意义。我脑海中立刻浮现出，未来我们可能只需要通过一个微小的芯片，就能完成全套的健康体检，这种便利性和精准性是传统方法无法比拟的。这本书让我看到了微纳米加工技术强大的生命力，它不再是实验室里的“象牙塔”，而是正在深刻地改变着我们的医疗健康。
评分我始终相信，一项技术能否真正改变世界，关键在于它能否触及并解决实际的“痛点”。这本书在技术介绍的同时，非常注重挖掘微纳米加工技术在解决现实问题方面的潜力。我特别关注了“微纳米技术在环境保护与可持续发展中的应用”这一章节。书中介绍了如何利用微纳米材料来净化水质，例如通过制备具有高效吸附性能的纳米材料，去除水中的重金属离子和有机污染物。我还了解到，微纳米技术在开发更高效的催化剂方面也发挥着重要作用，这对于减少工业废气排放、提高能源利用效率具有积极意义。书中还探讨了如何利用微纳米技术来设计更环保、更持久的材料，从而减少资源的消耗和废弃物的产生。例如，具有自清洁功能的表面材料，可以减少清洁剂的使用，降低对环境的影响。这本书让我看到了微纳米加工技术并非仅仅是追求极致的精度和微小，更重要的是它在推动社会的可持续发展方面所扮演的日益重要的角色。它让我相信，未来的科技发展，必然会更加注重与环境保护和人类福祉的融合。
评分我是一名对能源领域的研究者，一直在关注着新能源技术的最新进展，这本书的出现，无疑为我提供了一个新的视角。在阅读“微纳米技术在能源存储与转换中的应用”这一章时，我被其中关于“高性能电池”和“高效太阳能电池”的介绍深深吸引。书中详细阐述了如何通过控制电极材料的微纳米结构，来大幅提升电池的能量密度、功率密度和循环寿命。例如，通过制备具有高比表面积的纳米多孔电极，可以显著增加电解质与电极的接触面积，从而提高充放电速率。我特别对“锂硫电池”的潜力感到兴奋，书中介绍了利用微纳米技术克服锂硫电池中“穿梭效应”的挑战，使其有望成为下一代高能量密度电池的有力竞争者。在太阳能电池方面，书中也详细介绍了如何通过微纳米结构的设计，来提高光吸收效率和载流子传输效率。例如，纳米线阵列太阳能电池和量子点太阳能电池，都展现出了巨大的应用前景。这本书让我看到，微纳米加工技术并非仅仅是制造小东西，而是正在为解决全球能源危机提供关键性的技术支撑。
评分我一直以来都对那些能够“化腐朽为神奇”的材料科学和制造工艺充满好奇。平时看一些科幻电影，里面那些可以自我修复的装置、微型机器人，总让我觉得离我们很远，但又隐隐期待着它们有一天能走进现实。这本书的出现，恰好满足了我这种“窥探未来”的渴望。我迫不及待地翻到了关于“微纳器件的集成与封装”的章节。虽然我不是专业的工程师，但书中对于如何将成千上万个微小的元器件“安放”到微小的芯片上，并保证它们之间能够高效、稳定地协同工作的描述，依然让我看得津津有味。它用一种相当形象的比喻，将复杂的集成过程比作在弹珠大小的盘子上进行一场浩大的城市建设，需要精确的规划、精密的工具和严谨的工艺。我尤其对其中介绍的“三维集成技术”印象深刻，它打破了传统的平面化限制，让器件的堆叠成为可能，极大地提升了单位面积的计算和处理能力。书中的插图非常关键，那些放大无数倍的电路板、芯片内部结构图，直观地展示了工程师们如何通过层层叠加、精密布线，在方寸之间构建起复杂的“微观宇宙”。虽然我无法理解每一个技术细节，但这种“微观建筑学”的魅力，以及作者对于每一个环节都精益求精的描述，都让我深感敬佩。它让我意识到，我们每天使用的智能手机、电脑，背后隐藏着如此精妙绝伦的制造智慧。
评分我一直以来都对生物科技和医学诊断领域的发展抱有浓厚的兴趣，所以当我在书中看到“微纳米技术在生物传感与诊断中的应用”时，眼睛立刻亮了起来。这本书对于如何利用微纳米技术来“看清”和“感知”微观生物世界的描述，让我大开眼界。我了解到，很多我们现在习以为常的精密医学检测，比如DNA测序、蛋白质分析，背后都离不开微纳米技术的支撑。书中详细介绍了如何制造出具有极高灵敏度和选择性的微纳米生物传感器，它们能够精准地捕捉到生物体内的微量信号，从而实现疾病的早期预警和精准诊断。我特别对“纳米颗粒在靶向药物递送”方面的应用感到震撼。书中解释了如何通过在药物表面修饰纳米颗粒，使其能够主动寻找并进入病变细胞，从而提高药物的疗效，同时减少对正常细胞的毒副作用。这种“精确打击”式的治疗方式，无疑是未来医学的重要发展方向。这本书让我看到了微纳米技术在拯救生命、提升生活质量方面的巨大潜力，它不仅仅是工业制造的利器，更是赋能生命科学和医学发展的强大驱动力。
评分我是一名对光学器件和显示技术非常感兴趣的读者，所以当我在书中看到关于“微纳光学器件及其集成”的章节时，毫不犹豫地深入阅读。这本书对这个领域的讲解非常细致，它不仅仅是介绍了一些基本的光学原理，更重要的是将这些原理与微纳米加工技术紧密地结合起来。我了解到，我们现在使用的很多先进的光学器件，比如高效率的LED、微型投影仪，甚至是AR/VR设备中的关键组件，都离不开微纳米加工技术的支持。书中对“光子晶体”的描述尤其吸引我，它解释了如何通过在材料中制造出周期性的微纳米结构，来控制光的传播，就像是为光线设计了“通道”和“屏障”。这让我对光波的操控有了全新的认识。此外，书中还详细介绍了如何利用微纳米加工技术制造各种微透镜阵列、衍射光学元件等，这些微小的元件组合在一起，能够实现复杂的光学功能，而且体积非常小巧，这对于 miniaturization of optical devices 具有至关重要的意义。我感觉这本书为我揭示了我们日常生活中那些令人惊叹的光学奇迹背后的“微观奥秘”。
评分我是一个对新材料充满好奇的读者，所以当我在这本书的目录里看到“微纳米结构材料的制备与性能”时，就立刻来了兴趣。这本书的这一部分，并没有简单地罗列各种新材料的名称，而是深入浅出地解释了这些材料是如何通过微纳米加工技术被“雕琢”出来的，以及这些微观结构如何赋予它们独特的宏观性能。我尤其对书中关于“自组装技术”的介绍印象深刻。它描述了如何利用材料自身的物理化学性质，让它们在微观尺度下自发地形成有序的结构，就像是大自然中生物分子自发形成复杂细胞器的过程一样。这让我看到了“创造”材料的一种全新的方式，不再是完全依赖外部的强制力，而是巧妙地引导物质自身的“意愿”。书中还详细讲解了“表面改性”技术，如何通过在材料表面形成特定的微纳米结构，来改变其疏水性、抗菌性、导电性等，从而拓展其应用范围。例如，通过在衣物表面形成纳米结构，可以实现防水防污的功能，甚至可以用来收集太阳能。我感觉作者在这里展现了一种“化繁为简”的智慧，通过对微观世界的精细控制，实现宏观功能的巨大飞跃。
评分这本书的封面设计就透着一股严谨和科技感，金属质感的光泽，配合着细致入微的电路图案，让人一眼就能感受到内容的专业性。我原本对微纳米加工这个领域知之甚少，只知道它听起来像是未来科技的代名词，与日常生活似乎有些遥远。然而，当我翻开这本书，即使是序言部分，就迅速抓住了我的注意力。作者并没有一开始就抛出晦涩难懂的公式和原理，而是以一种循序渐进的方式，为读者搭建起一个理解的框架。从宏观世界的精细化趋势，到微米乃至纳米尺度上的独特物理和化学现象，都做了清晰的铺垫。我尤其喜欢其中关于“尺度效应”的探讨，它解释了为什么在微观尺度下，材料的性质会发生颠覆性的变化，这让我对“微纳米”有了初步但深刻的认识。书中穿插了一些历史性的案例，比如早期光学显微镜的发展，再到扫描隧道显微镜的发明，这些历史的片段不仅增添了阅读的趣味性，也展现了人类对微观世界探索的不断进步。我感觉作者试图让读者明白，微纳米加工并非凭空出现，而是人类智慧和技术积累的必然结果。虽然我还没有深入到具体的加工技术部分，但仅凭开篇的引导，我已经对接下来的内容充满了期待，感觉这本书很有可能改变我对“精密”和“制造”的认知维度。它不仅仅是一本技术手册，更像是一次穿越微观世界的思想之旅，让人在惊叹于大自然的精妙的同时，也为人类的创造力感到震撼。
评分作为一个对科学史和技术发展脉络感兴趣的读者，我在这本书中找到了许多惊喜。虽然我原本是冲着“技术”本身来的，但书中在介绍具体技术的同时，也穿插了大量关于技术发展历史的叙述，以及那些默默无闻的科学家和工程师的贡献。我尤其喜欢其中关于“光刻技术”发展历程的描述。它从最早的紫外光刻，到深紫外光刻，再到如今的极紫外光刻（EUV），每一步的技术革新都伴随着巨大的挑战和突破。书中生动地描绘了科学家们如何一步步克服衍射极限、材料限制等难题，将半导体制造的精度不断推向新的高度。这种“追根溯源”式的讲述方式，让我更加深刻地理解了微纳米加工技术的演进并非一蹴而就，而是人类智慧不断碰撞、持续迭代的结晶。此外，书中也提及了一些在微纳米加工领域具有里程碑意义的发现和发明，这些历史性的回顾，让我对这个领域有了更全面的认识，也为我理解当前的技术前沿提供了宝贵的历史坐标。
评分通俗易懂，完全可以自学！虽然买不起几百万的仪器，理论知识还是要有的????
评分5-day lectures given by the author at iopcas in July, 2011.
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