《微機電係統(MEMS)原理、設計和分析》係統地介紹瞭微機電係統的原理、設計和分析等知識，內容包括微機電係統的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、設計方法、加工工藝、錶麵特性、檢測技術、主要應用以及COMSOL軟件、微機電係統模塊仿真。《微機電係統(MEMS)原理、設計和分析》可供高等學校機械、電子、儀器、微電子器件專業高年級本科生和研究生使用，也可為相關工程技術人員及科技管理人員提供參考。
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