《微機電係統與微細加工技術》對微機電係統技術和微細加工技術進行瞭介紹。全書共分五章，包括微機電係統和微細加工技術的發展趨勢，對微機電係統原理和設計、微細加工技術、相關的檢測技術以及微機電係統的應用等內容進行瞭介紹和討論。《微機電係統與微細加工技術》可作為機械工程類或其他工程類本科生、研究生課程的教材，也可以作為其他有關技術人員瞭解微機電係統與微製造技術的參考書籍。
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