薄膜晶體管 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024


薄膜晶體管

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榖至華
復旦大學齣版社
2007-9
411
45.00元
9787309056556

圖書標籤: 半導體  TFT  薄膜晶體管陣列製造技術  工藝  業務   


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发表于2024-09-20

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圖書描述

《薄膜晶體管(TFT)陣列製造技術》主要介紹非晶矽(amorphous silicon, a-Si)TFT陣列大規模生産的製造技術。高質量的平闆顯示器的核心是薄膜晶體管(thin film transistor, TFT)矩陣的特性和製造技術。全書共13章,從TFT元件的結構及特點,到TFT檢查與修復,包括TFT陣列製作清洗工藝、成膜工藝、光刻工藝、不良解析和檢查修復。《薄膜晶體管(TFT)陣列製造技術》從TFT陣列大規模製造的角度,第一次比較全麵地介紹瞭TFT-LCD生産綫的TFT陣列製造工藝技術、工藝參數、生産工藝技術管理、工藝材料規格、設備特性、品質控製、産品技術解析;以工藝原理、設備參數控製、材料特性要求、生産工藝文件要求等大規模生産技術要素為核心,比較完整地介紹瞭現代化信息製造業的工藝流程與工藝管理。

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