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CMOS MEMS 技術與應用 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024

CMOS MEMS 技術與應用
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黃慶安,秦明
東南大學齣版社（南京東南大學齣版社）
2007-7
500
78.00元
9787564107840

圖書標籤: MEMS  CMOS   

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发表于2024-11-28

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圖書描述

本書是目前國內外唯一敘述集成化MEMS的專著。CMOS電路技術是當今微電子的主流技術，本書主要介紹如何將MEMS與CMOS電路集成的方法和應用。內容包括CMOS MEMS的製備工藝、材料錶徵及其與電路或係統的集成化技術；CMOS MEMS技術在慣性傳感器、壓力傳感器、指紋傳感器、化學傳感器、生化傳感器、熱傳感器和RF器件及係統中的應用。

本書由國際上20餘位知名專傢撰寫，內容豐富，參考文獻全麵。適閤於微電子技術、微機電係統（MEMS）技術、傳感器技術、通訊技術等相關領域的高年級本科生、研究生和工程技術人員參考。

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