《国际信息工程先进技术译丛:微光学和纳米光学制造技术》详细介绍了微光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺,重点强调了关键性的专业技巧,提供了最新的技术信息,内容包括面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术、纳米压印光刻技术和器件应用、平面光子晶体的设计和制造、三维(3D)光子晶体的制造——钨成型法。
《国际信息工程先进技术译丛:微光学和纳米光学制造技术》参编作者都是微纳米光学制造技术领域的专家,代表了当今微光学加工的领先水平。可供光电子领域从事光学仪器设计、光学设计和光机结构设计(尤其是从事光学成像理论、微纳米光学研究)的工程师使用,也可以作为大专院校相关专业本科生、研究生和教师的参考书。
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当我打开这本关于微纳光学制造的书时,我原本预期会读到一堆晦涩难懂的公式和纯粹的理论推导,但出乎意料的是,作者在处理**光刻技术**这部分内容时,展现了一种极强的工程实践视角。它并没有像某些教材那样把光刻胶的性能参数堆砌起来,而是着重讲述了**近场与远场曝光**机制在不同波长下的局限性,特别是针对**EUV光刻**中**掩模版污染**和**散射效应**的应对策略,书中给出了几套成熟的解决方案路径,这部分内容对于半导体光刻领域的人来说,无疑是极具参考价值的。更让我惊喜的是,书中还穿插了大量关于**薄膜沉积与刻蚀工艺的协同优化**的案例研究。例如,在制造**光栅耦合器**时,如何平衡RIE刻蚀的各向异性与反应残留物的清除效率,作者通过实际的XPS(X射线光电子能谱)分析数据来佐证其工艺窗口的选择依据,这种“硬核”的数据支撑,极大地提升了章节的说服力。整本书的语言风格偏向于技术手册,逻辑链条非常紧密,从材料选择到设备选型,再到最终的性能表征,形成了一个完整的闭环,让人感觉不是在“看书”,而是在“操作指南”中汲取经验。
评分这本《微光学和纳米光学制造技术》的装帧和排版给人的第一印象是专业、严谨,光是翻阅目录就能感受到作者在梳理这个领域知识体系上的用心良苦。它似乎是从基础的光学原理出发,逐步深入到精密制造的各个环节。我注意到书中对于**表面形貌控制**的章节着墨颇多,特别是关于**离子束刻蚀**和**纳米压印**这两种主流技术的对比分析非常到位。作者没有停留在理论介绍,而是深入剖析了工艺参数(如能量、角度、温度)对最终器件性能指标(如衍射效率、光斑质量)的影响曲线,这一点对于实际从事研发工作的工程师来说,简直是宝藏。比如,它详细阐述了如何通过优化掩模材料的选择和转移工艺,来克服高深宽比结构中**侧壁粗糙度**的瓶颈问题,甚至还涉及了**自适应光学系统**在制造过程中的质量监控应用,这表明本书的视野已经超出了传统的光学加工范畴,触及到了前沿的系统集成层面。尽管我尚未完全读完,但仅凭其对**超表面(Metasurfaces)**结构设计与制造公差的量化讨论,就足以证明它不是一本泛泛而谈的科普读物,而是一部能直接指导实践、解决具体技术难题的工具书。书中的图表清晰度极高,许多关键结构的三维示意图都极具启发性,让人能直观理解微纳尺度下的物理现象。
评分这本书的深度,尤其体现在其对**质量控制与计量学**的重视上。在探讨完各种制造技术后,书中用相当大的篇幅来讨论**光学表面形貌的表征**。它不仅罗列了**干涉仪、偏振光测量**等传统方法,还引入了利用**电子显微镜(SEM/TEM)的深度剖面分析**来验证纳米结构的**侧壁倾角**,这种跨学科的检测手段的融合应用,显示了作者的广博视野。特别值得一提的是,书中对**光学元件的热稳定性和环境适应性**也进行了讨论,这在很多专注于“制造”本身的书籍中常常被忽略。比如,它分析了聚合物基底材料在经历多次热循环后,**微结构的光学性能漂移**现象,并提出了相应的封装和加固策略。这种对产品全生命周期的关怀,使得本书的价值从实验室走向了实际产品化阶段,它不仅仅教你如何制造出符合设计参数的结构,更教会你如何确保这些结构在真实工作环境下依然能保持高可靠性,这对于将科研成果转化为工业标准的用户来说,是至关重要的补充信息。
评分对于非专业背景的读者来说,这本书的难度门槛是相当高的,它无疑是面向资深研究人员或高年级研究生的。但即便如此,书中对**非球面透镜和自由曲面光学元件**制造工艺的介绍,还是展现了其前瞻性。我特别关注了关于**点阵扫描式微加工**的章节,它详尽对比了不同激光参数(皮秒、飞秒)下对材料**非线性吸收**的影响,以及如何通过**光束整形技术**来精确控制烧蚀的焦点体积,以达到**“无热损伤”**的超精密加工效果。这些描述不再是笼统地说“激光可以加工”,而是细化到了**焦深控制的纳米级精度**。此外,书中对**模具制作的精度控制**也有独到的见解,尤其是提及了如何利用**原子力显微镜(AFM)**的探针在特定材料上进行**直接刻写**,作为高精度母模的参考,这种自上而下的精度传递逻辑在其他同类书籍中并不常见。总的来说,它成功地搭建了一座从基础物理到尖端制造技术的桥梁,尽管过程崎岖,但收获颇丰。
评分阅读体验上,这本书的结构编排极具条理性,它似乎将“微光学”和“纳米光学”这两个领域进行了精妙的解耦与重组。对于**微光学**部分,作者清晰地阐述了**衍射光学元件(DOE)**的设计理论,特别是**菲涅尔波带片**的优化算法,并结合了**热压成型**和**注塑成型**在批量化生产中的效率与精度权衡。而转入**纳米光学**领域后,重点立刻转向了**等离激元共振**结构的设计与制造。书中对**金属纳米天线阵列**的周期性结构对远场辐射特性的调控机理进行了深入浅出的讲解,并通过实测的**光谱响应曲线**印证了理论预测。最让我印象深刻的是,它详细描述了在制造**高折射率半导体纳米结构**(如氮化硅或二氧化钛)时,如何处理**刻蚀过程中对边缘的过度损伤**问题,这直接关系到器件的**光子囚禁效应**。这种对特定工艺缺陷与宏观性能之间因果关系的紧密追踪,使得全书充满了“实战经验”的味道,远非纸上谈兵可比。
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