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矽集成電路工藝基礎 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024

矽集成電路工藝基礎
☆☆☆☆☆
簡體網頁||繁體網頁
關旭東
北京大學齣版社
2003-1
349
40.00元
9787301065075

圖書標籤: 微電子  工藝  IC  石艷玲  沒看完的書  器件  中國   

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发表于2024-11-23

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圖書描述

《普通高等教育"十五"國傢級規劃教材•矽集成電路工藝基礎》係統講述瞭矽集成電路製造中的單項工藝，內容主要包括矽的晶體結構、氧化、擴散、離子注入、物理氣相澱積、化學氣相澱積、外延、光刻與刻蝕、金屬化與多層互連，最後介紹瞭CMOS集成電路、雙極集成電路以及BiCMOS集成電路的工藝集成。此外，對新工藝、新技術、集成電路工藝技術的發展趨勢以及新結構器件對集成電路製造工藝提齣的新要求等方麵也作瞭介紹。《普通高等教育"十五"國傢級規劃教材•矽集成電路工藝基礎》可作為高等學校微電子專業本科生和研究生的教材或參考書，也可供從事集成電路製造的工藝技術人員閱讀。

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用戶評價

評分☆☆☆☆☆

經典教材，PKU齣品

評分☆☆☆☆☆

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評分☆☆☆☆☆

一個學期見證完授課老師朗誦技巧的飛速提升，現在該鍛煉自己的背誦能力瞭。

評分☆☆☆☆☆

每一步工藝都具體做瞭實驗。很不錯的教材，與半導體材料這本書可以結閤來看。

評分☆☆☆☆☆

工藝這事兒，還是各種實驗各種文獻各種數據龐雜地堆起來的，弄成教材，總感覺有點彆扭。不過這書用來查閱，還是不錯。

讀後感

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