硅集成电路工艺基础

硅集成电路工艺基础 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

出版者:北京大学出版社
作者:关旭东
出品人:
页数:349
译者:
出版时间:2003-1
价格:40.00元
装帧:
isbn号码:9787301065075
丛书系列:
图书标签:
  • 微电子 
  • 工艺 
  • IC 
  • 石艳玲 
  • 没看完的书 
  • 器件 
  • 中国 
  •  
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《普通高等教育"十五"国家级规划教材•硅集成电路工艺基础》系统讲述了硅集成电路制造中的单项工艺,内容主要包括硅的晶体结构、氧化、扩散、离子注入、物理气相淀积、化学气相淀积、外延、光刻与刻蚀、金属化与多层互连,最后介绍了CMOS集成电路、双极集成电路以及BiCMOS集成电路的工艺集成。此外,对新工艺、新技术、集成电路工艺技术的发展趋势以及新结构器件对集成电路制造工艺提出的新要求等方面也作了介绍。《普通高等教育"十五"国家级规划教材•硅集成电路工艺基础》可作为高等学校微电子专业本科生和研究生的教材或参考书,也可供从事集成电路制造的工艺技术人员阅读。

具体描述

读后感

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用户评价

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经典教材,PKU出品

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少的可怜的微电子知识,就来自于当年的 它了~

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一个学期见证完授课老师朗诵技巧的飞速提升,现在该锻炼自己的背诵能力了。 @2017-05-28 08:36:59

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经典教材,PKU出品

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一个学期见证完授课老师朗诵技巧的飞速提升,现在该锻炼自己的背诵能力了。 @2017-05-28 08:36:59

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