微系统设计

微系统设计 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

出版者:电子工业出版社
作者:Stephen D.Senturia
出品人:
页数:472
译者:刘泽文
出版时间:2004-11-1
价格:59.0
装帧:平装(无盘)
isbn号码:9787121004223
丛书系列:
图书标签:
  • MEMS
  • 物理
  • 专业
  • 简体中文
  • 凝聚态物理
  • 凝聚态7
  • 中国
  • IC
  • 微系统
  • 系统设计
  • 微电子
  • 集成电路
  • 嵌入式系统
  • 电子工程
  • 电路设计
  • 传感器
  • 控制系统
  • MEMS
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具体描述

《微系统设计》将多学科的基础知识有机联系起来,带领大家进入微系统设计世界。这些知识是工作在MEMS领域的工程师所必不可少的。

全书涉及的主题范围广泛,包括:微加工技术、机械学、热流理论、电子学、噪声、带反馈或不带反馈的系统动力学等。因为很难简要地阐明“优良”设计的基本原理,《微系统设计》以提供一组实例研究的方式进行组织,这些实例研究或者基于真实的产品,或者基于已发表在文献中的产品原型。

实例研究的选择范围是那些具有多方面代表性的范例:不同的加工制作方法,不同的应用领域,在换能方式上运用不同的物理效应。实例研究的主要对象是下列器件的设计与封装:压阻式压力传感器、电容式加速度计、利用石项压电驱动与感测的陀螺仪、两种静电致动光投影显示器、两种DNA扩增微系统以及一种用于可烯气体测量的催化传感器。

《微系统设计》是麻省理工学院研究生课程“微机电系统设计与制作”的教材,适合高年级本科生和研究生学习MEMS使用,也可作为MEMS专业人士的参考书。

第一章都含有家庭作业和相关阅读文献作为教材的补充。《微系统设计》还有一个专门的Web网站对其提供支持,其上放有更多的家庭作业、练习和一些推荐的设计习题,以及一些有关《微系统设计》例题、家庭作业习题方面的教学资料。

作者简介

目录信息

第一部分 基础知识
第1章 引言
第2章 MEMS设计方法
第3章 微制造技术
第4章 工艺集成
第二部分 建模策略
……
第三部分 特定领域的细节
……
第四部分 电路与系统问题
……
第五部分 实例研究
……
附录A 参数符号表
附录B 电磁场
附录C 立方材料的弹性常数
参考文献
· · · · · · (收起)

读后感

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用户评价

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非常有水平的书,可惜买不到

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作者是大牛

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中英文版各读一遍,防止因专有名词导致的理解不到位

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作者是大牛

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集合了各个学科的基础知识。

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