《电子科学与技术专业英语(微电子技术分册)(修订版)》由半导体物理、半导体器件、半导体与集成电路工艺、集成电路设计、微电子机械系统和科技文献范例六部分组成。全书涵盖了微电子技术领域的基本内容，同时又介绍了该领域的一些较新的发展。
《电子科学与技术专业英语(微电子技术分册)(修订版)》可作为电子科学与技术专业微电子技术方向的三、四年级本科生的专业英语教材，也可供相关专业的本科生和从事该专业领域的工程技术人员使用。
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