Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization

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出版者:

作者:Paik, Ungyu/ Park, Jea-gun

出品人:

頁數:191

译者:

出版時間:

價格:1352.00元

裝幀:

isbn號碼:9781420059113

叢書系列:

圖書標籤:

納米顆粒
化學機械拋光
半導體製造
材料工程
錶麵處理
拋光技術
納米技術
微電子學
CMP
材料科學

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