Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization

Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization pdf epub mobi txt 电子书 下载 2026

出版者:
作者:Paik, Ungyu/ Park, Jea-gun
出品人:
页数:191
译者:
出版时间:
价格:1352.00元
装帧:
isbn号码:9781420059113
丛书系列:
图书标签:
  • 纳米颗粒
  • 化学机械抛光
  • 半导体制造
  • 材料工程
  • 表面处理
  • 抛光技术
  • 纳米技术
  • 微电子学
  • CMP
  • 材料科学
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具体描述

好的,以下是根据您的要求,以不包含《Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization》内容为前提,详细撰写的图书简介: --- 《微观结构材料的先进合成与表征技术》 图书简介 在现代材料科学与工程领域,对材料在微观尺度上进行精确控制和结构设计,是实现功能化、高性能化和集成化的关键所在。本书《微观结构材料的先进合成与表征技术》聚焦于当前材料研究的前沿领域,深入探讨了如何通过创新的合成方法来构建具有特定形貌、尺寸和化学梯度的功能性微纳结构,并详细阐述了先进的表征技术如何揭示这些结构与其宏观性能之间的内在联系。本书旨在为从事材料设计、制备、表征及应用开发的科研人员、工程师和高年级本科生提供一个全面且深入的参考指南。 第一部分:先进合成策略与方法论 本部分集中阐述了构建复杂微观结构所依赖的多种前沿合成技术,强调了从原子或分子层面控制结构形成的原理。 第一章:模板辅助的自组装与定向生长 本章首先回顾了基于分子间相互作用和能量最小化原理的自组装现象。随后,详细介绍了使用硬模板(如多孔氧化铝膜、聚合物微球)和软模板(如表面活性剂、嵌段共聚物)来引导纳米颗粒、纳米线或二维纳米片的定向生长。重点讨论了溶剂热法和水热法在控制晶体生长速率和缺陷密度中的调控机制。此外,还探讨了利用场引导(电场、磁场或应力场)来影响纳米结构排列和取向的策略,这对于构建具有各向异性导电性或光学特性的复合材料至关重要。 第二章:原子层沉积(ALD)与原子层刻蚀(ALE)的精密控制 原子层沉积(ALD)作为一种基于表面化学的薄膜生长技术,因其出色的厚度、均匀性和形貌保形性而受到广泛关注。本章系统介绍了ALD的反应机理、循环过程以及如何通过选择不同的前驱物体系实现对复杂衬底的三维保形覆盖。我们深入分析了温度窗口、脉冲时间对生长速率和薄膜化学计量的影响。作为补充,本章也涵盖了原子层刻蚀(ALE)的概念,探讨了如何利用原子级的精确去除工艺来微调薄膜厚度和定义纳米尺度特征,这是实现高精度器件制造的基石。 第三章:溶胶-凝胶法与共沉淀法的工艺优化 溶胶-凝胶法是制备氧化物和非氧化物陶瓷、玻璃和复合材料的通用湿化学技术。本章详细解析了醇盐水解与缩聚的动力学过程,强调了pH值、催化剂选择以及水含量对最终凝胶网络结构和孔隙率的影响。随后,讨论了共沉淀法在制备高纯度、均匀混合氧化物粉体中的应用,特别是如何通过控制沉淀速率和老化过程来规避非期望的相分离和尺寸不均一性。本章提供了从前驱体溶液到最终固态材料转化的全流程工艺优化指南。 第二部分:先进微观结构表征技术 精确的结构信息是理解材料性能的基础。本部分着重介绍了几种能够提供高空间分辨率、化学敏感性和动态行为洞察的表征手段。 第四章:高分辨透射电子显微镜(HRTEM)与谱学联用 透射电子显微镜(TEM)仍然是研究晶体结构、界面缺陷和晶界特征的金标准技术。本章详细介绍了高分辨透射电子显微镜(HRTEM)的成像原理,包括像差校正对分辨率提升的贡献。更重要的是,本章强调了电子能量损失谱(EELS)和X射线能量色散谱(EDS)与TEM的联用技术。EELS如何提供亚纳米尺度的化学价态和轨道电子结构信息,以及EDS如何进行元素映射和定量分析,从而实现结构与化学信息的完美耦合。 第五章:聚焦离子束(FIB)样品制备与三维重建 聚焦离子束(FIB)技术是制备高质量电子显微镜样品,尤其是横截面样品的关键工具。本章详细描述了FIB在精密切割、样品减薄和高精度定位方面的操作技术。同时,本书重点介绍了串束(Slice-and-View)和透射电子显微层析成像(TEM Tomography)在获得材料内部三维结构信息中的应用。通过FIB辅助的序列切割和随后的图像采集与重建算法,可以量化孔隙网络、相界分布和颗粒聚集体的空间统计学特征。 第六章:表面形貌与界面分析:原子力显微镜(AFM) 原子力显微镜(AFM)提供了对材料表面形貌的无损三维成像能力。本章不仅涵盖了接触模式和轻敲模式的基本操作,还深入探讨了多种高级AFM技术。这包括定量形貌分析(如粗糙度参数计算)、力谱分析以评估局部机械性能(如硬度、弹性模量),以及化学敏感技术,如扫描开尔文探针显微镜(SKPM)对表面功函数和电势分布的成像。这些技术对于理解材料表面的润湿性、摩擦学行为以及电荷转移过程至关重要。 第三部分:结构-性能关联与应用展望 本部分将合成与表征的技术集成,探讨如何利用这些工具来设计和优化特定应用领域的功能材料。 第七章:多孔材料的孔隙结构控制与输运性能 多孔材料在催化、分离和储能领域具有巨大潜力。本章阐述了如何通过精确控制介孔或微孔的尺寸分布、连通性和表面化学,来优化流体扩散、吸附/脱附动力学和离子迁移率。重点分析了BET、压汞法等孔隙率测量技术,并结合TEM和X射线断层扫描(XRT)数据,建立孔隙结构参数与宏观输运性能之间的定量关系模型。 第八章:异质结界面的电子特性与能带工程 在半导体、光电器件和催化剂设计中,不同材料间的界面(异质结)起着决定性作用。本章讨论了如何利用ALD或分子束外延(MBE)技术构建具有精确界面厚度和化学梯度的异质结。随后,结合XPS深度剖析和高分辨TEM/EELS分析,探讨界面处的化学键合、晶格失配和载流子分离效率。内容聚焦于如何通过工程设计界面能带匹配,以实现更高效的光电转换或催化活性。 第九章:机械性能的微观尺度调控 本章研究了材料的强度、韧性和疲劳寿命如何受到微观结构特征,如晶粒尺寸、晶界结构、位错密度和第二相弥散的影响。利用原位(In-situ)TEM/SEM测试,可以实时观察材料在应力加载下的变形机制。此外,还讨论了如何利用精确的纳米压痕技术(Nanoindentation)来量化局部硬度和模量,并将这些局部力学数据与材料的整体疲劳寿命模型进行关联,指导超高强度和抗疲劳材料的开发。 本书结构严谨,理论与实践相结合,特别侧重于先进技术的操作细节和数据解析方法,是材料科学研究人员不可多得的案头参考书。

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