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Handbook of Sputter Deposition Technology pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024

Handbook of Sputter Deposition Technology
☆☆☆☆☆
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Kiyotaka Wasa
Noyes Publications
1992-02-01
320
USD 140.00
Hardcover
9780815512806

圖書標籤: sputter   

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发表于2024-11-13

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圖書描述

This book presents a concise, comprehensive overview of sputter deposition technology, a key technology for materials research in the next decade. Cathode sputtering is widely used in the microelectronics industry for silicon integrated circuit production and for metallurgical coatings. High temperature superconductors can be synthesized with sputtering under non-equilibrium conditions. Diamond films and ferroelectric materials are other applications.

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