Handbook of Sputter Deposition Technology pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025
出版者:Noyes Publications
作者:Kiyotaka Wasa
出品人:
页数:320
译者:
出版时间:1992-02-01
价格:USD 140.00
装帧:Hardcover
isbn号码:9780815512806
丛书系列:
图书标签:
- sputter
- Sputtering
- Thin Films
- Materials Science
- Vacuum Deposition
- Surface Engineering
- Coating Technology
- Semiconductor Materials
- Nanotechnology
- Physical Vapor Deposition
- Materials Characterization
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具体描述
This book presents a concise, comprehensive overview of sputter deposition technology, a key technology for materials research in the next decade. Cathode sputtering is widely used in the microelectronics industry for silicon integrated circuit production and for metallurgical coatings. High temperature superconductors can be synthesized with sputtering under non-equilibrium conditions. Diamond films and ferroelectric materials are other applications.
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