《新型錶麵形貌測量儀器》首先係統地對錶麵形貌測量儀器的發展進行瞭綜述，然後從原理、結構、信號處理、軟件設計等方麵論述瞭基於微恒力位移傳感器的錶麵形貌測量係統、基於激光聚焦伺服式傳感器的輪廓儀、基於激光乾涉測量的輪廓儀等三種錶麵形貌測量儀器，最後論述瞭錶麵形貌測量儀器的關鍵部件——運動工作颱。全書力求具有創新性、實用性和先進性。
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