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新型表面形貌测量仪器 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2024

新型表面形貌测量仪器
☆☆☆☆☆
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杨练根
科学
2008-2
208
38.00元
9787030210425

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发表于2024-11-13

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图书描述

《新型表面形貌测量仪器》首先系统地对表面形貌测量仪器的发展进行了综述，然后从原理、结构、信号处理、软件设计等方面论述了基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统、基于激光聚焦伺服式传感器的轮廓仪、基于激光干涉测量的轮廓仪等三种表面形貌测量仪器，最后论述了表面形貌测量仪器的关键部件——运动工作台。全书力求具有创新性、实用性和先进性。

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