Ion Impantation Technology

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出版者:Springer Verlag
作者:Kirkby, Karen J. (EDT)/ Gwilliam, Russell (EDT)/ Smith, Andy (EDT)/ Chivers, David (EDT)
出品人:
页数:682
译者:
出版时间:2006-12
价格:$ 245.21
装帧:HRD
isbn号码:9780735403659
丛书系列:
图书标签:
  • 离子注入
  • 半导体制造
  • 材料科学
  • 薄膜技术
  • 表面处理
  • 微电子学
  • 器件物理
  • 硅材料
  • 工艺技术
  • 集成电路
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