Cmos Cantilever Sensor Systems

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出版者:Springer Verlag

作者:Lange, D./ Brand, Oliver/ Baltes, H.

出品人:

頁數:142

译者:

出版時間:

價格:1042.00 元

裝幀:HRD

isbn號碼:9783540431435

叢書系列:

圖書標籤:

CMOS
傳感器
微機電係統(MEMS)
懸臂梁
物理傳感器
集成電路
生物傳感器
氣體傳感器
納米技術
微納器件

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