Quantum-Well Laser Array Packaging

Quantum-Well Laser Array Packaging pdf epub mobi txt 电子书 下载 2026

出版者:McGraw-Hill
作者:Tomm, Jens W./ Jimenez, Juan
出品人:
页数:428
译者:
出版时间:2006-11
价格:$ 186.45
装帧:HRD
isbn号码:9780071460323
丛书系列:
图书标签:
  • 量子阱激光器
  • 激光器阵列
  • 封装技术
  • 光电子器件
  • 半导体激光器
  • 集成光学
  • 散热设计
  • 可靠性
  • 光通信
  • 微电子封装
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具体描述

Quantum-well lasers offer the promise of lightning-fast data communications 10-to-100 times faster than broadband While the architecture for these devices already exists, they suffer from material packaging problems. In this book the authors address this critical issue by providing researchers with state-of-the-art screening and packaging techniques not found in any other resource. Key features Degradation signatures occurring in high power laser bars exposed to high optical power densities Failure prediction for different types of laser bars and technologies Screening methodologies in high power laser bars with a classification of detected defects In-depth degradation analysis of bars and single emitters

先进微纳光电器件封装与集成技术 导言:光电子时代的基石 随着信息技术的飞速发展,对高性能、高集成度光电子器件的需求日益迫切。光电子技术,作为信息传输与处理的核心技术之一,正经历着从分立器件向高度集成化阵列系统的重大飞跃。然而,器件性能的充分发挥,在很大程度上依赖于其封装与集成技术的成熟度。传统封装方法已难以满足现代微纳光电器件在热管理、光电耦合效率以及长期可靠性方面的严苛要求。 本书聚焦于当前光电子封装与集成领域的前沿技术和关键挑战,旨在为研究人员、工程师以及相关领域专业人士提供一套全面、深入且具有实践指导意义的技术综述与方法论。我们避开特定半导体异质结结构(如量子阱结构)的细节讨论,转而将重点放在支撑所有高性能光电器件阵列系统运行的通用封装原理、材料科学与精密制造工艺上。 第一部分:现代光电子封装的原理与挑战 第一章:封装的战略地位与系统级设计 本章首先界定现代光电子系统中的“封装”概念,将其提升至系统级设计要素的高度。封装不再是器件制成的“后续步骤”,而是决定最终光、电、热性能的关键环节。我们将探讨面向阵列系统的热-力-光耦合效应,分析如何在系统层面对封装进行优化设计,以应对高速率、高功率密度带来的挑战。 重点讨论的设计原则包括:最小化寄生参数对高速电信号传输的影响;优化热路径以确保器件在安全温度范围内稳定工作;以及实现高效率的光波导与光纤的对准与耦合。这些基础原理构成了后续所有精密封装工艺的理论基石。 第二章:先进的热管理技术 光电子器件,尤其是高密度阵列,工作时会产生显著的热量,温度的升高直接影响材料的带隙、载流子寿命和器件的可靠性。本章深入剖析热管理技术在阵列封装中的应用。 2.1 散热基板材料的选择与优化: 详细比较高导热系数材料,如类金刚石薄膜、先进陶瓷(氮化铝、氮化硅)与金属基复合材料(CMC)在不同工作温度范围内的性能表现。讨论如何通过材料设计,实现封装体内部的热应力最小化。 2.2 异质键合与界面热阻控制: 封装中最大的热阻往往出现在不同材料的界面上。本章重点分析共晶焊、活性钎焊(如金锡、金硅焊料)的工艺窗口和物理机制,旨在实现接近“理想”的零空隙界面,从而有效降低热界面电阻(TIR)。 2.3 芯片级主动与被动冷却方案: 探讨微通道液体冷却技术在紧凑封装中的集成方法,以及相变材料(PCM)在瞬态高温环境下的缓冲应用。 第三章:高精度光电耦合与对准技术 阵列系统的性能瓶颈常常在于输入端与输出端光信号的精确耦合。本章着重于实现微米甚至亚微米级对准的先进技术。 3.1 衍射光学元件(DOE)与光子晶体(PhC)在耦合中的作用: 介绍如何利用这些光学结构实现大角度或宽带隙光束的整形与引导,以缓解机械公差带来的耦合损失。 3.2 自动对准与固化技术: 详细阐述基于视觉反馈的实时对准系统(Vision-guided Alignment System)的工作流程,包括亚波长精度的传感器选择和运动控制算法。重点分析在不对称阵列中实现高通量、高精度的对准与光固化(UV Curing)同步控制的技术细节。 3.3 结构化光栅与光子器件的级联: 讨论如何通过预制的光学结构,如倾斜光栅或布拉格反射镜,在器件表面实现光束的定向耦合,从而简化外部光纤阵列的对准难度。 第二部分:精密制造与互连技术 第四章:先进的键合与连接工艺 现代光电子封装要求实现异质材料(如半导体、介质、金属)之间的可靠、低损耗连接。本章聚焦于高密度、高可靠性互连技术。 4.1 固晶(Die Attach)的演进: 比较传统的环氧树脂固化、烧结银膏与超声波辅助键合技术在实现高热导率和低应力方面的优劣。探讨在超薄芯片上的“倒装”固晶技术对翘曲的控制。 4.2 混合键合(Hybrid Bonding)与直接键合(Direct Bonding): 深入解析铜-铜或铜-介质直接键合在实现高密度三维集成(3D Integration)中的应用。重点在于表面活化过程、键合过程中的压力控制和键合界面的电学特性评估。 4.3 微凸点阵列(Micro-bump Array)技术: 针对高速电信号传输需求,详细介绍倒装焊(Flip-Chip)中微凸点的形成工艺(如电镀、沉积/光刻)、尺寸控制,以及在阵列结构中实现均匀回流焊的关键参数控制。 第五章:高密度电互连与信号完整性 阵列封装必须提供高带宽、低噪声的电学连接。本章关注微纳尺度的电互连设计与优化。 5.1 封装级布线与去耦设计: 探讨在封装层级(Substrate Level)优化传输线(如微带线、带状线)的特性阻抗匹配。详细分析去耦电容在封装体内的集成策略,以抑制电源分配网络(PDN)的噪声。 5.2 介质材料与基板技术: 比较有机层压板(如低损耗的聚合物材料)、高频陶瓷基板(HTCC/LTCC)与单片集成硅基板(Interposer)在信号衰减、串扰和热膨胀系数匹配方面的差异。重点阐述如何利用先进的硅中介层(Silicon Interposer)实现导线键合(Wire Bonding)到倒装焊的无缝过渡。 5.3 引线键合的限制与替代方案: 评估传统金丝、铜丝键合在高速、高频应用中的局限性。详细介绍使用微带线或共面波导(CPW)连接代替引线键合,以最小化电感和提高信号完整性的封装结构设计。 第三部分:可靠性、测试与封装封装的未来趋势 第六章:长期可靠性与环境适应性评估 光电子系统对环境变化(温度、湿度、机械冲击)的敏感性极高。本章提供系统化的可靠性工程方法。 6.1 封装可靠性失效分析: 重点讨论因热循环(Thermal Cycling)导致的键合层分层、微裂纹扩展以及材料蠕变问题。介绍加速老化测试方法(如HALT/HASS)在封装设计验证中的应用。 6.2 湿气与腐蚀防护: 探讨高级阻隔封装技术,如原子层沉积(ALD)的超薄氧化物/氮化物薄膜在密封腔体中的应用。分析共价键合结构对水汽渗透的抑制效果。 6.3 光功率下的老化机制: 讨论高光功率密度下,封装材料(如环氧树脂、粘合剂)的光致降解(Photodegradation)效应,以及如何通过材料筛选来提高光致可靠性。 第七章:先进封装的测试、计量与封装封装(Packaging of Packaging) 7.1 过程内监测(In-situ Monitoring): 介绍实时温度、应力传感器的集成技术,用于监控精密键合过程中的关键参数。探讨非破坏性检测技术(如超声波C扫描、X射线层析成像)在检测内部缺陷中的应用。 7.2 阵列系统的功能性测试: 讨论如何设计兼容光电探针台的封装结构,以便于对复杂阵列进行高速光电参数的并行测试(Parallel Testing)。 7.3 模块化与系统级封装(SiP): 展望未来光电子系统向更高度集成化的方向发展,讨论如何将多个功能模块(如激光器、调制器、探测器、驱动电路)集成在一个标准化的封装外壳内,以实现即插即用(Plug-and-Play)的光电模块。 结论 本书的结构旨在提供一个从基础物理原理到复杂工程实践的无缝衔接。通过对热、光、电、力学四大核心要素在精密封装环境下的综合考量,读者将能够掌握设计、制造和评估新一代高密度光电子阵列系统的核心能力。未来的挑战在于进一步缩小集成尺度、提升操作速度,并确保在严苛的商业环境中实现数十年的稳定运行。本书所涵盖的原理与技术,正是应对这些挑战的关键所在。

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