本書包括真空技術的物理基礎及實際技術兩大部分。物理基礎部分由稀薄氣體理論及固體一氣體間的現象兩章組成;實際技術部分包括真空獲得、總壓強測量、分壓強測量、真空檢漏技術及真空係統等5章。本書注重理論聯係實際,科學係統性較完整,對問題的闡述力求做到理論嚴謹、概念準確。本書可作為電子物理與技術、半導體、微電子、冶金、真空設備和實驗物理等有關專業的研究生及本科生教材使用,也可供有關真空技術應用方麵的科技人員參考。
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垃圾!不知道怎麼校對的,錯誤百齣,這是一門嚴謹的專業技術課,怎麼能如此不負責任!
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