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集成電路工藝中的化學品 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024

集成電路工藝中的化學品
☆☆☆☆☆
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戴猷元
化學工業
2007-3
188
28.00元
9787502599348

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发表于2024-11-23

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圖書描述

作為一本資料信息型參考書，《集成電路工藝中的化學品》共7章，內容包括序言、薄膜製備技術及化學品、晶片清洗技術及化學品、光刻技術及化學品、刻蝕技術及化學品、化學機械拋光技術及化學品、載氣及其他化學品。2-6章的內容都與集成電路製造過程的關鍵技術領域相關。在各章的開始，提供瞭集成電路製造過程關鍵技術的概述、所涉及的化學反應機理等，然後詳細提供工藝中用到的化學品的物理化學性質、應用描述、毒性及安全等相應信息。書中涉及瞭200多種化學品和氣體，全書最後還列齣瞭300餘篇參考文獻。

將半導體元件生産所需的化學品的有用信息和數據匯集在一起，以“化學品”為中心展開係統描述，提供的化學及工程知識將幫助讀者理解電子化學品的關鍵性作用，在電子化學品和集成電路製造工藝之間搭建起連接的“橋梁”。 《集成電路工藝中的化學品》是微電子學研究工作者、從事集成電路製造的過程工程師、電子化學品研究開發者及生産供應企業的科技人員和其他相關人員及有興趣讀者的有價值的參考書。

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