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微光機電係統 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024

微光機電係統
☆☆☆☆☆
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張文棟
機械工業
2006-8
310
28.00元
簡裝本
9787111192664

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发表于2024-11-13

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圖書描述

本書介紹瞭微光機電係統（Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS）的國內外發展狀況，微器件的結構設計與仿真，常用的微製造技術，如錶麵工藝、體矽工藝和LIGA工藝，封裝技術等。本書的重點是介紹各種MOEMS器件，包括微力學器件、RF微器微光學器件、微流體器件以及微溫度傳感器和微磁場傳感器等。介紹微器件時，本書從各器件的工作原理、工藝步驟、性能指標等入手，意在使讀者更好地瞭解目前已經研製成功的各種微器件及微係統，並能在實際的工程中考慮使用。

本書可作為從事MOEMS技術應用和開發的工程設計人員，科技管理人員以及相關專業研究生的參考書。

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