本書係統地介紹瞭電容式微機械陀螺的結構設計、基於錶麵加工wafer級真空封裝工藝,著重分析瞭陀螺儀中閉環自振蕩方法、角速率信號解調算法及電路實現,最後對微機械陀螺振蕩品質因子、分辨率、工作帶寬、靈敏度和綫性度等關鍵參數的測試方法作瞭詳細的分析和闡述。
本書可供高等院校有關專業作為研究生教材或參考書,也可供科研人員和工程技術人員作為技術參考書。
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