具體描述
《微係統設計》將多學科的基礎知識有機聯係起來，帶領大傢進入微係統設計世界。這些知識是工作在MEMS領域的工程師所必不可少的。
全書涉及的主題範圍廣泛，包括：微加工技術、機械學、熱流理論、電子學、噪聲、帶反饋或不帶反饋的係統動力學等。因為很難簡要地闡明“優良”設計的基本原理，《微係統設計》以提供一組實例研究的方式進行組織，這些實例研究或者基於真實的産品，或者基於已發錶在文獻中的産品原型。
實例研究的選擇範圍是那些具有多方麵代錶性的範例：不同的加工製作方法，不同的應用領域，在換能方式上運用不同的物理效應。實例研究的主要對象是下列器件的設計與封裝：壓阻式壓力傳感器、電容式加速度計、利用石項壓電驅動與感測的陀螺儀、兩種靜電緻動光投影顯示器、兩種DNA擴增微係統以及一種用於可烯氣體測量的催化傳感器。
《微係統設計》是麻省理工學院研究生課程“微機電係統設計與製作”的教材，適閤高年級本科生和研究生學習MEMS使用，也可作為MEMS專業人士的參考書。
第一章都含有傢庭作業和相關閱讀文獻作為教材的補充。《微係統設計》還有一個專門的Web網站對其提供支持，其上放有更多的傢庭作業、練習和一些推薦的設計習題，以及一些有關《微係統設計》例題、傢庭作業習題方麵的教學資料。
著者簡介
圖書目錄
第一部分 基礎知識
第1章 引言
第2章 MEMS設計方法
第3章 微製造技術
第4章 工藝集成
第二部分 建模策略
……
第三部分 特定領域的細節
……
第四部分 電路與係統問題
……
第五部分 實例研究
……
附錄A 參數符號錶
附錄B 電磁場
附錄C 立方材料的彈性常數
參考文獻
· · · · · · (收起)
第1章 引言
第2章 MEMS設計方法
第3章 微製造技術
第4章 工藝集成
第二部分 建模策略
……
第三部分 特定領域的細節
……
第四部分 電路與係統問題
……
第五部分 實例研究
……
附錄A 參數符號錶
附錄B 電磁場
附錄C 立方材料的彈性常數
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· · · · · · (收起)
讀後感
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非常有水平的書，可惜買不到
评分作者是大牛
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评分中英文版各讀一遍，防止因專有名詞導緻的理解不到位
评分非常有水平的書，可惜買不到
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