微傳感器、微機電係統（MEMS，micro=electro=mechanical systems）正在對半導體工業産生革命性的作用。微係統（microsystems）或片上係統（system-on-a-chip）將微電子電路和微執行器結閤在一起，形成有廣泛應用領域的新的研究熱點。本書係統介紹微傳器技術，並將微傳感器、微機電係統和靈巧器件有機結閤起來，適閤微電子領域的高年級學生和研究人員、微傳感器係統方麵的工程師和開發人員閱讀。由於本書內容豐富全麵，對於機械、物理和材料方麵的科研人員也很有參考價值。
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