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微傳感器、微機電係統和靈巧器件

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加德納 (Gardner Jullan W.)
(影印版) (2004年3月1日)
2004-3
503
55.00
平裝
國際知名大學原版教材——信息技術學科與電氣工程學科係列
9787302081227

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发表于2024-12-25

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圖書描述

微傳感器、微機電係統(MEMS,micro=electro=mechanical systems)正在對半導體工業産生革命性的作用。微係統(microsystems)或片上係統(system-on-a-chip)將微電子電路和微執行器結閤在一起,形成有廣泛應用領域的新的研究熱點。本書係統介紹微傳器技術,並將微傳感器、微機電係統和靈巧器件有機結閤起來,適閤微電子領域的高年級學生和研究人員、微傳感器係統方麵的工程師和開發人員閱讀。由於本書內容豐富全麵,對於機械、物理和材料方麵的科研人員也很有參考價值。

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