微係統近年來迅速發展，在航天、汽車、生物技術、消費産品、國防、環境保護和安全、保障、製藥，以及遠程通信工業等方麵都有廣泛的應用。本書對MEMS技術的基礎進行瞭深入的觀察，共分11章，介紹瞭微係統工程的發展，市場，産品，微係統所涉及的各工程學科的基礎知識、尺度效應、微係統工程的材料、微製造和微加工工藝及微係統的設計和封裝等內容。
本書可作為本科生或研究生課程的教材，還可以作為專業人士及相關人員瞭解MEMS參考書。
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其實我想找個電子版。。。
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