Microfabrication for Industrial Applications pdf epub mobi txt 电子书下载 2026

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出版者:

作者:Luttge, Regina

出品人:

页数:312

译者:

出版时间:2011-9

价格:1698.00 元

装帧:

isbn号码:9780815515821

丛书系列:

图书标签:

Microfabrication
MEMS
Microfluidics
Industrial Applications
Manufacturing
Materials Science
Engineering
Technology
Sensors
Actuators

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具体描述

This book focuses on the industrial perspective for micro- and nanofabrication methods including large-scale manufacturing, transfer of concepts from lab to factory, process tolerance, yield, robustness, and cost. It gives a history of miniaturization, micro- and nanofabrication, and surveys industrial fields of application, illustrating fabrication processes of relevant micro and nano devices.

Concerning sub-micron feature manufacture, the book explains: the philosophy of micro/ nanofabrication for integrated circuit industry; thin film deposition; (waveguide, plastic, semiconductor) material processing; packaging; interconnects; stress (e.g., thin film residual); economic; and environmental aspects.

Micro/nanomechanical sensors and actuators are explained in depth with information on applications, materials (incl. functional polymers), methods, testing, fabrication, integration, reliability, magnetic microstructures, etc.

Shows engineers & students how to evaluate the potential value of current and nearfuture manufacturing processes for miniaturized systems in industrial environments

Explains the top-down and bottom up approaches to nanotechnology, nanostructures fabricated with beams, nano imprinting methods, nanoparticle manufacturing (and their health aspects), nanofeature analysis, and connecting nano to micro to macro

Discusses issues for practical application cases; possibilities of dimension precision; large volume manufacturing of micro- & nanostructures (machines, materials, costs)

Explains applications of Microsystems for information technology, e.g.: data recording (camera, microphone), storage (memories, CDs), communication; computing; and displays (beamers, LCD, TFT)

Case studies are given for sensors, resonators, probes, transdermal medical systems, micro- pumps & valves, inkjets, DNA-analysis, lab-on-a-chip, & micro-cooling

开启微观世界的无限可能《微纳制造及其前沿应用》是一部深入探讨微细制造技术及其在各个工业领域革命性应用的权威指南。本书旨在为读者提供对支撑现代高科技产业发展的核心制造工艺的全面理解，并揭示这些技术如何推动产品性能的飞跃、 miniaturization 趋势以及全新应用场景的诞生。本书并非仅仅局限于理论，而是将目光聚焦于实际应用，通过详实案例分析，展现了微纳制造技术在电子、生物医疗、能源、光学、机械等多个关键领域的深刻影响。从智能手机中精密的光学镜头，到植入体内的微型医疗器工，再到高效的能量收集设备，本书层层剥茧，剖析了这些前沿产品的背后所依赖的精湛制造工艺。核心内容涵盖：光刻技术（Photolithography）的深度解析：本书将详细介绍不同类型光刻技术（如紫外光刻、深紫外光刻、极紫外光刻）的原理、发展历程、关键工艺步骤以及在集成电路制造中的核心作用。读者将深入了解如何通过光刻精确地图案化各种材料，实现纳米尺度的结构制造。蚀刻技术（Etching）的精细探讨：干法蚀刻（如反应离子蚀刻 RIE）和湿法蚀刻的优缺点、工艺参数控制、选择性以及在三维结构构建中的应用将被一一剖析。本书将强调如何通过精密的蚀刻工艺来移除材料，形成预期的微结构。薄膜沉积技术（Thin Film Deposition）的多样性：物理气相沉积（PVD）如溅射（Sputtering）和蒸发（Evaporation），以及化学气相沉积（CVD）如等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等主流技术将被深入讲解。读者将了解如何通过这些方法在基底上形成具有特定功能的超薄功能层，并掌握不同沉积技术在材料选择和性能调控上的差异。微纳加工的其他关键技术：除了光刻、蚀刻和薄膜沉积，本书还将涵盖其他重要的微细制造技术，例如：定向凝固（Directed Self-Assembly, DSA）：介绍如何利用材料的自组装特性，在亚微米及纳米尺度上形成有序结构。电子束光刻（Electron Beam Lithography, EBL）与聚焦离子束（Focused Ion Beam, FIB）：探讨这些高精度技术在科研和小批量生产中的独特优势，以及它们在纳米加工和材料改性方面的应用。微型刻画（Micro-machining）与精密机械加工：讲解如激光加工、超声波加工等方法，如何实现微型机械部件的精密制造。 3D 微纳打印技术：介绍光固化（SLA）、双光子聚合（TPP）等先进增材制造技术，如何在微观尺度上构建复杂的三维结构。材料科学在微纳制造中的角色：本书还将探讨微纳制造过程中常用材料的特性，包括半导体材料（如硅）、介电材料、金属材料、聚合物以及复合材料，并分析它们在不同工艺中的行为和选择依据。工业应用案例的深度剖析：集成电路（Integrated Circuits, ICs）：详细阐述微纳制造如何支撑摩尔定律的持续演进，从CPU、GPU到各类存储芯片，揭示高性能计算的基石。微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS）：介绍MEMS器件的原理与制造，包括传感器（如加速度计、陀螺仪）、执行器、微阀门等，及其在消费电子、汽车、工业自动化领域的广泛应用。微流控芯片（Microfluidic Chips）：深入探讨微纳制造在构建用于生命科学研究、药物筛选、疾病诊断的微流控平台中的关键作用，展示如何实现微量流体的精确控制与分析。光学器件与光子集成：介绍微纳制造如何实现高密度、高性能的光学元件（如衍射光栅、超表面）以及光通信和光计算所需的集成器件。生物传感器与生物芯片：探讨如何利用微纳制造技术构建高灵敏度、高特异性的生物传感器，用于疾病检测、环境监测和食品安全。新能源技术：展现微纳制造在提升太阳能电池效率、开发新型储能器件以及制造燃料电池中的重要贡献。本书的目标读者：工程师与研发人员：致力于微电子、MEMS、生物技术、光学、材料科学等领域的工程师，能够从本书中获得先进的制造技术知识和解决方案。学术研究者：在微纳制造、纳米技术、材料科学、物理学、化学、生物学等领域进行前沿研究的研究生和博士后。产品开发者与创新者：寻求通过微纳制造技术实现产品创新和性能突破的行业从业者。对前沿科技感兴趣的学生和爱好者：希望了解支撑现代科技进步的基石技术的读者。《微纳制造及其前沿应用》不仅仅是一本书，更是通往微观世界精妙制造的钥匙，它将引导读者理解并掌握如何驾驭这些强大的技术，从而在瞬息万变的科技浪潮中，抓住机遇，引领创新。