Physical Limitations of Semiconductor Devices

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出版者:
作者:Vashchenko, V. A./ Sinkevitch, V. F.
出品人:
页数:341
译者:
出版时间:2008-4
价格:$ 202.27
装帧:
isbn号码:9780387745138
丛书系列:
图书标签:
  • 半导体器件
  • 物理限制
  • 器件物理
  • 材料科学
  • 电子工程
  • 微电子学
  • 可靠性
  • 失效分析
  • 性能分析
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具体描述

Providing an important link between the theoretical knowledge in the field of non-linier physics and practical application problems in microelectronics, the purpose of the book is popularization of the physical approach for reliability assurance. Another unique aspect of the book is the coverage given to the role of local structural defects, their mathematical description, and their impact on the reliability of the semiconductor devices.

《电子元件制造工艺流程与质量控制》 本书深入探讨了半导体器件制造过程中至关重要的工艺流程和质量控制策略。内容涵盖了从硅片制备、光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入到封装等一系列关键步骤,详细解析了每一步工艺的原理、操作要点以及对器件性能的影响。 核心内容概述: 硅片制备与表面处理: 详细阐述了单晶硅的生长技术,如直拉法(CZ)和区熔法(FZ),以及硅片晶圆的切割、研磨、抛光等工艺,强调了高纯度、低缺陷的硅片基底对于后续工艺和器件可靠性的决定性作用。特别关注了化学机械抛光(CMP)在实现纳米级表面平整度方面的技术细节和挑战。 光刻技术: 全面介绍了不同代际的光刻技术,包括紫外光刻(UV)、深紫外光刻(DUV)和极紫外光刻(EUV)。详细解析了光刻机的光学系统、掩模版制作、光刻胶的性质与选择、曝光与显影过程。重点分析了提高分辨率和套刻精度的技术,例如多重曝光、相位移掩模版(PSM)和计算光刻。 刻蚀技术: 区分了干法刻蚀(等离子刻蚀)和湿法刻蚀,并重点解析了干法刻蚀在微纳加工中的主导地位。详细介绍了反应离子刻蚀(RIE)、电感耦合等离子体刻蚀(ICP-RIE)等技术,分析了刻蚀速率、选择性、各向异性以及侧壁保护等关键参数的控制。深入探讨了用于金属层、介质层和硅层刻蚀的特定化学反应和等离子体源。 薄膜沉积技术: 详述了多种薄膜沉积技术,包括化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)和原子层沉积(ALD)。针对不同的薄膜材料,如二氧化硅、氮化硅、多晶硅、金属(铝、铜、钨)等,详细介绍了其沉积机理、工艺参数(温度、压力、气体流量)的优化,以及薄膜的形貌、致密性和导电性等特性。特别突出了ALD技术在实现超薄、均匀且保形性优异薄膜方面的独特优势。 离子注入与扩散: 阐述了通过离子注入改变半导体材料导电类型的原理,详细介绍了离子注入机的结构、加速电压、束流、剂量和角度等工艺参数。分析了注入后的退火(热处理)过程,包括快速热处理(RTP),其目的在于激活掺杂剂、修复晶格损伤以及形成特定结。 金属化与互连: 涵盖了器件的金属化层制作,包括导电层的沉积、图案化以及多层金属互连的形成。重点介绍了铜互连技术中的电化学沉积(ECD)和阻挡层/扩散阻挡层的形成,以及化学机械抛光(CMP)在平坦化和去除多余金属中的关键作用。 封装与测试: 简述了器件的封装过程,包括晶圆切割、芯片绑定(引线键合、倒装焊)、塑封或陶瓷封装等,以及封装对器件性能和可靠性的影响。强调了在制造过程中的各个阶段进行的半导体参数测试(如I-V特性、C-V特性)和可靠性测试(如高温高湿、温度循环、加速寿命测试)的重要性,以及数据分析和良率提升的策略。 质量控制策略: 本书不仅关注工艺本身,更强调贯穿整个制造流程的质量控制。详细介绍了: 过程监控(In-Situ Monitoring): 讲解了利用光学、电阻率、厚度等传感器在工艺过程中进行实时监测的技术,以及数据反馈对工艺参数调整的作用。 统计过程控制(SPC): 阐述了如何运用控制图、能力指数等统计工具,识别和分析工艺中的变异来源,确保工艺过程的稳定性和可预测性。 失效分析(Failure Analysis): 介绍了在器件失效后,如何通过一系列的分析手段(如SEM、TEM、EDX、X射线成像)来定位和分析失效模式,从而指导工艺改进。 良率管理(Yield Management): 探讨了影响良率的关键因素,以及如何通过优化工艺、提高设备性能和加强管理来提升器件的整体良率。 《电子元件制造工艺流程与质量控制》旨在为半导体领域的工程师、研究人员和学生提供一个全面、深入的指南,帮助他们理解和掌握现代半导体器件制造的核心技术和质量保证体系,从而为开发更先进、更高性能的电子器件奠定坚实的基础。

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读后感

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用户评价

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这本书的出版,无疑为半导体器件研究领域注入了一股清新的理论力量。它深入浅出地剖析了半导体器件在物理层面上存在的固有局限性,从量子隧穿效应的不可避免性,到热致载流子散射的物理本质,再到材料缺陷对器件性能的影响,无不进行了详尽而严谨的论述。我尤其欣赏作者在阐述这些复杂物理现象时所采用的类比和图示,这极大地降低了理解门槛,即使是没有深厚物理背景的读者,也能逐步领会其中的精髓。例如,在讨论热电子注入问题时,作者通过生动的比喻,将微观的电子热运动与宏观的液体沸腾联系起来,直观地展现了高能量电子突破势垒的可能性及其对器件性能的负面影响。此外,书中还对不同类型的半导体器件,如MOSFET、BJT、二极管等,在面临这些物理限制时的具体表现进行了分类分析,并探讨了不同材料体系(如硅、砷化镓、氮化镓等)在克服这些限制方面的潜力与挑战。书中对截止频率、击穿电压、漏电流等关键参数的物理根源分析,为工程师在设计和优化器件时提供了重要的理论指导。虽然篇幅宏大,但其逻辑清晰,章节过渡自然,使得读者能够沿着作者的思路,系统地构建起对半导体器件物理局限性的认知框架。阅读过程中,我时常会停下来,思考作者提出的每一个观点,并尝试将其与我已有的知识和实际经验相结合,这种互动式的学习体验,让我在知识的海洋中遨游,收获颇丰。

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《Physical Limitations of Semiconductor Devices》这本书,我从头到尾认真研读了一遍,最大的感受就是其“硬核”程度。它不是一本泛泛而谈的教科书,而是直击半导体器件设计的“痛点”。书中对各种物理效应的分析,可以说是做到了极致的精细。比如,在讲解栅介质漏电电流时,作者不仅考虑了经典的Fowler-Nordheim隧穿,还深入探讨了高电场下的热激发电子隧穿,甚至是缺陷辅助隧穿机制,并对不同机制的贡献度进行了详细的量化分析。这对于追求极致性能的器件设计者来说,简直是一份宝贵的“秘籍”。书中还对量子效应在纳米尺度器件中的作用进行了深刻的剖析,例如量子限制效应如何改变材料的能带结构,进而影响载流子的输运特性,以及谐振隧穿二极管等具有量子效应的器件的工作原理。这部分内容极具前瞻性,为理解未来高性能半导体器件的发展方向提供了重要的理论基础。书中对器件可靠性方面的论述也同样精彩,例如电迁移、热载流子注入(HCI)引起的衬底电流、以及栅氧化层击穿(TDDB)等损伤机制,都进行了详细的物理建模和实验验证。作者通过对这些物理过程的深入理解,为如何提高器件的长期稳定性提供了有价值的参考。这本书的语言风格比较严谨,虽然偶尔会用到一些较为专业的术语,但通过前后文的联系和作者的详细解释,整体上还是能够被理解的。总之,这是一本值得反复品读的专业书籍。

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这本书《Physical Limitations of Semiconductor Devices》的内容,让我对半导体器件的性能极限有了前所未有的深刻理解。书中对各种物理效应的分析,可以说是做到了极致的精细。比如,在讲解栅介质漏电电流时,作者不仅考虑了经典的Fowler-Nordheim隧穿,还深入探讨了高电场下的热激发电子隧穿,甚至是缺陷辅助隧穿机制,并对不同机制的贡献度进行了详细的量化分析。这对于追求极致性能的器件设计者来说,简直是一份宝贵的“秘籍”。书中还对量子效应在纳米尺度器件中的作用进行了深刻的剖析,例如量子限制效应如何改变材料的能带结构,进而影响载流子的输运特性,以及谐振隧穿二极管等具有量子效应的器件的工作原理。这部分内容极具前瞻性,为理解未来高性能半导体器件的发展方向提供了重要的理论基础。书中对器件可靠性方面的论述也同样精彩,例如电迁移、热载流子注入(HCI)引起的衬底电流、以及栅氧化层击穿(TDDB)等损伤机制,都进行了详细的物理建模和实验验证。作者通过对这些物理过程的深入理解,为如何提高器件的长期稳定性提供了有价值的参考。

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这本书《Physical Limitations of Semiconductor Devices》就像一位经验丰富的向导,带领我穿越半导体器件的复杂世界,直指其物理极限。书中对不同类型半导体器件(如MOSFET、BJT、IGBT等)在不同工作条件下的性能局限性进行了系统性的梳理和分析。我尤其对书中关于热失控(thermal runaway)的讨论印象深刻。在功率器件的设计中,热失控是一个极其危险的现象,它可能导致器件的永久性损坏。作者通过对热阻、功率耗散、以及器件等效电路的分析,揭示了热失控发生的物理机制,并探讨了抑制热失控的方法。书中对高频工作下器件的寄生效应,如寄生电容、寄生电感等,进行了细致的分析,并给出了相应的电路模型。这些寄生参数在微波和毫米波器件的设计中至关重要,它们会严重影响器件的增益、噪声系数以及阻抗匹配。作者通过对这些效应的物理建模和电路等效分析,为读者提供了理解和抑制这些寄生效应的有效方法。书中对半导体器件在强电场下的击穿现象的讨论也同样精彩,无论是雪崩击穿还是齐纳击穿,其背后的物理机制都被清晰地阐释出来,并结合了材料特性和器件结构的影响。这对于设计耐高压的功率器件至关重要。这本书的深度和广度都令人赞叹,对于任何想深入了解半导体器件物理极限的读者来说,都是一本不可或缺的参考书。

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《Physical Limitations of Semiconductor Devices》这本书,让我深刻认识到,任何器件的性能提升,终究会触碰到物理定律的“天花板”。书中对载流子迁移率的限制因素,如晶格散射、杂质散射、界面散射等,进行了细致的论述,并给出了不同温度和掺杂浓度下的迁移率表达式。这对于理解和设计高性能的电子器件至关重要。我尤其赞赏书中关于量子效应在微纳尺度器件中的作用的探讨,例如量子点的能级离散化、量子线的相干输运等。这些概念对于理解下一代量子计算和量子通信器件的发展有着重要的启示。书中对热激发的俄歇复合在激光器和LED中的作用的分析,也让我对这些光电器件的发光效率有了更深入的理解。非辐射俄歇复合的竞争,直接限制了器件的发光效率,这需要通过材料设计和结构优化来抑制。书中对漏电流的各种物理机制,如表面漏电、体漏电、隧穿漏电等,进行了详尽的分析,并给出了相应的模型。这对于设计低功耗的集成电路至关重要。这本书的深度和广度都令人印象深刻,对于任何想深入了解半导体器件物理极限的读者来说,都是一本不可或缺的参考书。

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《Physical Limitations of Semiconductor Devices》这本书,为我揭示了半导体器件性能提升过程中遇到的那些“不可逾越”的障碍。它不回避任何一个棘手的物理限制,而是直面问题,逐一击破。书中对功函数不匹配、界面态密度等在金属-半导体接触和半导体-绝缘体界面处的关键问题,进行了深入的剖析。这些界面效应往往是决定器件性能上限的关键因素,也是设计中常常遇到的瓶颈。作者通过对这些界面物理的详尽阐述,为读者提供了解决这些问题的理论基础和设计思路。书中还对高频工作下器件的寄生效应,如寄生电容、寄生电感等,进行了细致的分析。这些寄生参数在微波和毫米波器件的设计中至关重要,它们会严重影响器件的增益、噪声系数以及阻抗匹配。作者通过对这些效应的物理建模和电路等效分析,为读者提供了理解和抑制这些寄生效应的有效方法。书中对半导体器件在光照下的光电效应,例如光生载流子复合和光致击穿等,也进行了深入的探讨。这对于理解光电器件和光伏器件的工作原理至关重要。这本书的篇幅虽大,但信息量十足,每一页都充满了价值。

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翻开《Physical Limitations of Semiconductor Devices》,就像是踏入了一个充满挑战的物理世界。这本书并非仅仅罗列公式,而是将深奥的物理理论与生动的器件现象紧密结合。例如,书中对霍尔效应在测量载流子浓度和迁移率时的局限性,以及在高磁场和低温下的量子霍尔效应的介绍,都让我对半导体材料的输运特性有了更深刻的认识。我对书中关于表面态和界面态在MOSFET器件性能中的作用的分析也印象深刻。表面态和界面态会捕获和散射载流子,增加器件的漏电流和降低迁移率,这对于高性能MOSFET的设计是一个巨大的挑战。作者通过对这些界面效应的详细描述,为读者提供了解决这些问题的思路。书中还对热电子效应在器件中的负面影响进行了详尽的论述,例如热载流子引起的衬底电流和栅氧化层可靠性问题。这对于设计高可靠性的功率器件至关重要。书中对半导体器件在光照下的光电效应,例如光生载流子复合和光致击穿等,也进行了深入的探讨。这对于理解光电器件和光伏器件的工作原理至关重要。这本书的篇幅虽大,但信息量十足,每一页都充满了价值。

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不得不说,这本《Physical Limitations of Semiconductor Devices》为我打开了一个全新的视角。它让我意识到,我们司空见惯的半导体器件,其性能的提升早已不是简单的材料优化或工艺改进所能实现的,而是受到深层物理定律的制约。书中对热效应的讨论,尤其让我印象深刻。无论是由于载流子散射产生的焦耳热,还是由于高功率工作导致的器件过热,都会显著影响器件的电学特性,甚至引发永久性损伤。作者通过分析热阻、热容等参数,以及热传导的物理机制,揭示了在极端工作条件下,器件散热的严峻挑战。这对于设计高密度、高性能的集成电路来说,是一个必须正视的问题。此外,书中关于载流子复合的讨论,也为理解光电器件(如LED、光伏电池)的效率瓶颈提供了理论依据。非辐射复合的普遍存在,限制了光子的产生效率,而辐射复合的概率又受到材料和结构的影响。作者对各种复合机制的细致阐述,以及它们与器件性能之间的定量关系,为改进光电器件的设计提供了明确的方向。书中对于掺杂不均匀性、晶格缺陷等微观因素对器件特性的影响分析,也让我对器件制造过程的精度有了更深的认识。总而言之,这本书内容丰富,逻辑严谨,是一本极具学术价值和实践指导意义的著作。

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从这本书中,我窥见了半导体器件世界背后那些不为人知的“隐忧”。它没有回避任何一个棘手的物理限制,而是直面问题,逐一击破。书中关于功函数不匹配、界面态密度等在金属-半导体接触和半导体-绝缘体界面处的关键问题,进行了深入的剖析。这些界面效应往往是决定器件性能上限的关键因素,也是设计中常常遇到的瓶颈。作者通过对这些界面物理的详尽阐述,为读者提供了解决这些问题的理论基础和设计思路。书中还对高频工作下器件的寄生效应,如寄生电容、寄生电感等,进行了细致的分析。这些寄生参数在微波和毫米波器件的设计中至关重要,它们会严重影响器件的增益、噪声系数以及阻抗匹配。作者通过对这些效应的物理建模和电路等效分析,为读者提供了理解和抑制这些寄生效应的有效方法。我对书中关于半导体器件在强电场下的击穿现象的讨论也颇为赞赏。无论是雪崩击穿还是齐纳击穿,其背后的物理机制都被清晰地阐释出来,并结合了材料特性和器件结构的影响。这对于设计耐高压的功率器件至关重要。阅读这本书,就像是在与一位经验丰富的导师对话,他不仅能告诉你“是什么”,更能告诉你“为什么”,并且引导你思考“如何做”。

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《Physical Limitations of Semiconductor Devices》这本书,为我打开了一个全新的视角,让我意识到半导体器件的性能提升早已不是简单的材料优化或工艺改进所能实现的,而是受到深层物理定律的制约。书中对热效应的讨论,尤其让我印象深刻。无论是由于载流子散射产生的焦耳热,还是由于高功率工作导致的器件过热,都会显著影响器件的电学特性,甚至引发永久性损伤。作者通过分析热阻、热容等参数,以及热传导的物理机制,揭示了在极端工作条件下,器件散热的严峻挑战。这对于设计高密度、高性能的集成电路来说,是一个必须正视的问题。此外,书中关于载流子复合的讨论,也为理解光电器件(如LED、光伏电池)的效率瓶颈提供了理论依据。非辐射复合的普遍存在,限制了光子的产生效率,而辐射复合的概率又受到材料和结构的影响。作者对各种复合机制的细致阐述,以及它们与器件性能之间的定量关系,为改进光电器件的设计提供了明确的方向。书中对于掺杂不均匀性、晶格缺陷等微观因素对器件特性的影响分析,也让我对器件制造过程的精度有了更深的认识。总而言之,这本书内容丰富,逻辑严谨,是一本极具学术价值和实践指导意义的著作。

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