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发表于2024-12-25
微机电系统设计与加工 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2024
《微机电系统设计与加工》是MEMS系列图书的一本,主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。内容包括:MEMS中的材料,MEMS制造,LIGA及其微模压,基于X射线的加工,EFAB技术及其应用,单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性,用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀,聚合物微系统:材料和加工,光诊断方法考察微流道的入口长度,应用于航空航天的微化学传感器,恶劣环境下的MEMS器件封装技术,纳机电系统制造技术,分子自组装基本概念及应用。
《微机电系统设计与加工》主要面向MEMS专业的高年级本科生和研究生,也可供MEMS技术研究人员参考。
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