Energy Dispersive X-ray Analysis in the Electron Microscope (Microscopy Handbooks) pdf epub mobi txt 电子书 下载 2026

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出版者:Garland Science

作者:DC Bell

出品人:

页数:160

译者:

出版时间:2003-01-01

价格:USD 91.00

装帧:Paperback

isbn号码:9781859961094

丛书系列:

图书标签:

• Energy Dispersive X-ray Analysis
• EDX
• Electron Microscopy
• Microscopy
• Materials Science
• Analytical Techniques
• X-ray Spectroscopy
• Microanalysis
• SEM
• TEM
• Microscopy Handbooks

本书是一本全面的指南，旨在帮助读者深入理解电子显微镜中的能量色散X射线分析（EDX/EDS）技术。EDX/EDS作为一种强大的材料表征手段，能够提供关于样品化学成分和分布的定性及定量信息，广泛应用于材料科学、地质学、生物学、半导体工业等众多领域。 本书内容涵盖了EDX/EDS技术的基础理论、仪器配置、数据采集与处理，以及在各种应用中的实践案例。 第一部分：基础理论 X射线产生机制： 详细阐述了在电子显微镜中，当高能电子束轰击样品时，如何激发出原子内层电子的跃迁，进而产生特征X射线的物理过程。这包括了电子-原子相互作用的细节，如电离、俄歇效应和X射线发射。 特征X射线光谱： 介绍了不同元素具有独特特征X射线谱（如Kα、Kβ、Lα、Mα等）的形成原理，以及这些谱峰的能量与元素的原子序数之间的关系。读者将了解到如何通过识别这些特征谱线来确定样品的元素组成。 连续X射线（轫致辐射）： 解释了在高能电子与原子核相互作用过程中产生的连续X射线背景，以及它对特征X射线信号的影响，并探讨了如何将其最小化或在分析中加以考虑。 X射线与物质的相互作用： 描述了X射线在样品内的传播过程，包括吸收、荧光产额、次级荧光等影响信号强度的因素。这些效应是进行精确定量分析的关键。 探测器原理： 详细介绍了当前主流的EDX/EDS探测器（如Si(Li)和SDD）的工作原理，包括能量分辨率、计数率、探测效率等关键参数，以及它们如何将X射线信号转化为可测量的电信号。 第二部分：仪器配置与数据采集 EDX/EDS系统组成： 介绍了EDX/EDS系统在电子显微镜中的典型配置，包括探测器、信号处理电子设备、数据采集卡以及与显微镜控制软件的集成。 电子束条件对EDX/EDS的影响： 详细讨论了电子束能量、束流、束斑尺寸等参数如何影响X射线的产生效率、穿透深度和空间分辨率，以及如何根据分析目标优化这些参数。 样品制备： 强调了良好的样品制备对于获得高质量EDX/EDS数据的重要性，介绍了针对不同类型样品（如导电样品、绝缘样品、薄膜样品）的制备方法。 数据采集策略： 提供了在定性分析、元素映射和定量分析等不同应用场景下，设置采集时间和采集参数的指导建议。 几何学效应： 解释了探测器与样品之间的几何关系（如倾斜角度、探测器距离）对X射线收集效率的影响，以及如何通过优化几何参数来提高信号强度和分析准确性。 第三部分：数据处理与定量分析 谱图解析： 讲解了如何对采集到的EDX/EDS谱图进行基线校正、峰识别、峰拟合等操作，以准确确定各元素的种类和含量。 定性分析： 介绍了如何通过谱图中的特征峰来快速识别样品所含的元素，并提供了一些常见的谱图解析技巧。 定量分析： 深入探讨了各种定量分析模型，包括ZAF（原子序数、吸收、荧光）、Φ(ρz)（密度-深度分布）等校正模型，以及它们在实际应用中的适用性。 校准样品： 强调了使用已知成分的校准样品进行仪器校准和定量的必要性，并介绍了几种常用校准样品的选择和使用方法。 定量分析的误差来源与控制： 讨论了影响定量分析准确性的各种因素，如统计噪声、背景噪声、探测器不稳定性、模型假设等，并提出了相应的误差控制和减少策略。 元素映射（EDX Mapping）： 详细介绍了如何通过扫描电子束并同步采集EDX/EDS数据来生成元素的空间分布图像，揭示元素在样品中的微观分布特征。 第四部分：应用实例与高级主题 材料科学中的应用： 提供了在合金分析、陶瓷研究、聚合物表征、纳米材料分析等材料科学领域的具体案例，展示EDX/EDS如何用于成分鉴定、缺陷分析、界面研究等。 地质与矿物学中的应用： 介绍EDX/EDS在矿物成分分析、岩石学研究、古生物化石鉴定等方面的应用。 生物学与医学中的应用： 探讨EDX/EDS在细胞、组织、疾病样本的元素分析，以及痕量元素检测等方面的作用。 半导体与电子工业中的应用： 阐述EDX/EDS在芯片制造、失效分析、污染检测等电子工业关键环节的应用。 其他高级主题： 可能涉及如时间分辨EDX/EDS、深度剖析技术、与EELS（电子能量损失谱）的结合分析等前沿课题。 本书旨在为电子显微镜使用者提供一个坚实的EDX/EDS理论基础和实用的操作指南，帮助他们有效地利用这一强大的分析工具，解决各种科学研究和工程应用中的问题。无论您是初学者还是有经验的用户，都能从中获得有价值的知识和启示。

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