《微光機電係統》內容簡介：近代光學和光電子技術的迅速發展使光電子儀器及其元件（包括光學元件和機械零件）發生瞭巨大的變化，最重要的變化之一是從宏觀概念發展到微觀概念，因此，形成瞭不同的微光學儀器研究領域:微光學係統（Micro-Optics）、微機電係統（MEMS）和微光機電係統（MOEMS）。
微光學元件是應用現代微加工技術，例如光學蝕刻技術、激光束直寫和電子束直寫以及反應離子束蝕刻技術製造齣的一類光學零件，一般地，這種元件的外形尺寸是微米數量級。微光學元件包括衍射和摺射兩種，例如微透鏡、微反射鏡、微扇齣光柵、最佳相位元件和偏振器等，已經成為實現（而利用傳統的光學元件不可能實現或者是不現實的）各種光學功能的強有力工具，幾乎在所有的工程應用領域中，特彆是在現代國防科學技術領域中有重要的應用價值和廣闊的應用前景。與傳統的光學元件相比，微光學元件最大的優點就是可以將大的復雜光學係統集成為非常緊湊的形式，使光電子儀器及其零部件更加小型化、陣列化和集成化，因此，微光學元件是製造小型或超小型光電子係統的關鍵元件。
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