半导体器件制造工艺

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isbn号码:9787504516183
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具体描述

机械设计原理与实践:基础理论与工程应用 图书简介 本书旨在系统、深入地阐述机械设计领域的核心理论、分析方法以及工程实践中的关键技术。它不仅涵盖了传统机械设计的基础知识体系,更融入了现代工程设计理念与先进制造技术的要求,为读者构建一个全面且实用的知识框架。全书结构严谨,内容详实,力求在理论深度与工程应用之间找到最佳平衡点。 第一部分:机械设计基础理论 本部分着重于奠定坚实的理论基础,这是进行复杂机械系统设计和分析的前提。 第一章 机械设计的基本概念与方法论: 详细介绍了机械系统在工程应用中的基本构成要素、工作原理及其相互关系。探讨了从需求分析到概念设计、详细设计再到制造和维护的完整设计流程。重点剖析了工程优化设计、可靠性设计以及人机工程学在机械设计中的初步应用,强调了系统思维在现代工程实践中的重要性。引入了面向对象的设计思想在机械建模中的应用潜力。 第二章 材料力学基础与工程应用: 深入回顾了材料在受力状态下的应力、应变分析。核心内容包括静力学分析(拉伸、压缩、剪切、弯曲和扭转),重点讲解了复杂应力状态下的强度和刚度校核准则(如冯·米塞斯、Tresca 准则)。本章还扩展讨论了材料的疲劳特性、蠕变行为以及在不同环境载荷下的材料选择原则,特别关注了高强度钢、复合材料在关键结构件设计中的应用案例。 第三章 机构运动学与动力学分析: 详细分析了平面机构和空间机构的运动特性。运动学部分涵盖了位置、速度和加速度的瞬心法、解析法和图解法。动力学部分则侧重于机构的受力分析,引入了虚功原理和拉格朗日方程在复杂机构动态分析中的应用。本章特别设立了“机械控制中的机构设计”专题,探讨了如何通过机构结构来改善系统的响应速度和运动精度,如凸轮机构的优化设计以减少冲击。 第四章 机械连接件的静力与疲劳分析: 本章集中讨论了可拆卸连接(螺纹连接、键和花键)与永久性连接(焊接、铆接)的设计与计算。对螺纹连接的预紧力、防松技术进行了详尽的分析。在疲劳分析方面,不仅介绍了 S-N 曲线和 Goodman 准则,还引入了基于断裂力学(如应力强度因子 $K_I$)的断裂寿命预测方法,尤其针对结构中的应力集中区域进行深入探讨。 第二部分:典型机械零部件设计与计算 本部分将理论知识应用于具体的机械零部件设计中,是工程实践的核心。 第五章 常用传动机构的设计与优化: 齿轮传动: 详细讲解了标准直齿圆柱齿轮、斜齿圆柱齿轮、锥齿轮的几何参数计算、强度校核(齿根弯曲疲劳、齿面接触疲劳)以及制造公差对传动性能的影响。重点讨论了高精度、重载场合下的齿轮设计策略。 带与链传动: 分析了 V 带、同步带和链传动的特性、中心距选择、包角计算以及寿命预测模型。强调了正确安装和润滑对带链传动可靠性的决定性作用。 第六章 轴系零部件的设计与校核: 阐述了轴的设计原则,包括材料选择、结构设计(避免应力集中)和截面尺寸的确定。集中讨论了临界转速分析(包括截面突变和联轴器的影响)以及轴的刚度校核。轴承作为滚动和滑动摩擦的枢纽,本章详细介绍了滚动轴承的寿命计算(额定寿命 $L_{10}$)、润滑选择(润滑脂与润滑油的选择标准)以及轴承座的结构设计要求。 第七章 弹簧、离合器与制动器的设计: 弹簧设计: 涵盖螺旋拉伸/压缩弹簧、板簧的设计与材料选择,重点关注疲劳寿命和允许的应力范围。 离合器与制动器: 分析了摩擦式离合器和制动器的基本工作原理,包括摩擦副材料的选择、工作面的设计、散热能力估算以及接合/制动过程的动态响应分析。 第八章 机械机构的动力学综合分析: 将第一部分学习的动力学知识应用于实际机构设计。重点讨论了机械振动问题,包括单自由度、多自由度系统的自由振动和强迫振动分析。引入了机械系统中的阻尼特性建模,并介绍了主动和被动减振降噪技术在工程中的应用,例如使用隔振垫和动平衡技术。 第三部分:现代机械设计方法与前沿技术 本部分聚焦于提升设计效率、可靠性,并介绍当前工业界广泛应用的新兴设计工具和理念。 第九章 计算机辅助工程(CAE)在机械设计中的应用: 详细介绍有限元分析(FEA)的基本原理、网格划分策略和边界条件设置。通过实例讲解如何使用通用 FEA 软件(如 ANSYS 或 Abaqus 的机械模块)进行应力、模态和热传导分析。强调了 FEA 结果的正确解读与工程判断,避免“黑箱”式的使用。 第十章 机械系统的可靠性与寿命管理: 超越传统的安全系数设计,引入概率论基础在可靠性分析中的应用。阐述了故障树分析(FTA)和事件树分析(ETA)在识别系统薄弱环节中的作用。讨论了基于状态的监测(CBM)数据如何反馈到设计优化中,形成闭环的可靠性增长模型。 第十一章 现代制造技术对设计的影响: 探讨了增材制造(3D 打印)对传统机械设计范式的变革,例如拓扑优化和点阵结构的实现。同时,详细分析了精密加工(如五轴联动加工)对零件几何精度和表面粗糙度的要求,强调了“面向制造的设计”(DFM)原则,确保设计方案的经济性和可制造性。 第十二章 复杂机械系统集成与控制接口设计: 本章讨论了机械、电子、控制系统如何进行有效集成。包括传感器的选型、安装及其对机械结构动态特性的影响。阐述了伺服驱动系统与机械执行机构的匹配问题,如反馈控制回路中的刚度耦合与延迟补偿。 总结与展望: 全书最后总结了机械设计由经验驱动向数据驱动、智能化方向发展的趋势,鼓励读者将所学理论知识与快速迭代的工程实践相结合,培养解决复杂工程问题的能力。 本书适合作为高等院校机械工程、车辆工程、航空航天工程等专业本科高年级及研究生的教材或参考书,同时也面向在职工程师的继续教育和专业提升提供系统的学习资源。

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这本书,我是在一个技术论坛上偶然看到的推荐。当时我正对一种新型的电子墨水屏技术产生浓厚的兴趣,想要了解其背后的原理和制造过程。我的理解是,这种屏幕的低功耗和灵活性在很大程度上依赖于其独特的制造工艺。因此,我满心期待地翻开了《半导体器件制造工艺》,希望能从中找到一些关于新型显示材料、薄膜沉积、光刻技术在柔性基板上的应用等方面的线索。我对其中的微纳加工、湿法刻蚀、干法刻蚀,甚至是用到的特定化学试剂和工艺参数都抱有极大的好奇,希望书中能详细解释这些技术的原理、优缺点,以及如何在大规模生产中实现高良率和低成本。我也特别关注书中有没有关于提高工艺稳定性和可靠性的方法,以及如何克服在柔性材料上进行精密制造所面临的挑战。我希望这本书能为我理解和分析这种新兴显示技术提供坚实的技术基础,让我能更深入地探究其背后的科学原理。

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我是一名在通信行业工作的工程师,工作中经常会接触到各种高性能的射频芯片和通信模块。这些器件的复杂性和小型化设计总是让我惊叹不已。在我看来,它们的实现离不开极其精密的制造工艺。因此,当我看到《半导体器件制造工艺》这本书时,我毫不犹豫地购买了。我希望书中能够深入探讨在射频器件制造过程中特有的挑战和解决方案,例如如何实现高频信号的精确传输,如何抑制噪声和干扰,以及如何在高密度集成的情况下保证器件的性能。我特别关注书中关于多层互连、高介电常数材料的应用,以及在芯片封装过程中如何保证信号完整性的技术。此外,我也对先进的光刻技术,如EUV光刻在制造更高性能射频芯片中的作用非常感兴趣,希望书中能提供相关的技术细节和发展趋势。我想了解这些先进的制造技术如何支撑起我们现在所依赖的各种高速通信设备。

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我是一位对物联网(IoT)设备充满热情的爱好者,尤其关注那些需要低功耗、高性能并且成本可控的微控制器(MCU)和传感器。在我的设想中,能够实现智能家居、可穿戴设备甚至是工业自动化这些应用,都离不开小巧、高效且廉价的半导体芯片。因此,《半导体器件制造工艺》这本书进入了我的视野。我希望通过阅读这本书,能够大致了解目前主流的MCU和传感器是如何制造出来的。我对于如何在大规模生产中降低制造成本、提高器件的能效比、以及如何实现微小尺寸下的高集成度非常好奇。我期待书中能介绍一些与CMOS工艺相关的知识,以及在制造低功耗器件时所采用的特殊工艺优化手段。如果书中能提及一些面向特定应用的半导体器件制造技术,比如用于 MEMS 传感器的制造,那就更好了,能够帮助我理解这些“智能”的核心是如何一步步被创造出来的。

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我最近在研究一款备受关注的新型功率半导体器件,它承诺在电力电子领域带来革命性的提升,尤其是在能源效率和散热方面。作为一名对新材料和新工艺充满好奇的电子工程师,我迫切地想知道,究竟是什么样的制造技术,才能催生出如此高性能的器件。于是,我找到了《半导体器件制造工艺》这本书。我非常期待书中能够详细阐述这类新型功率半导体器件(例如SiC或GaN基器件)的独特制造工艺。我想要了解,与传统的硅基半导体制造相比,这些新材料在晶圆制备、外延生长、刻蚀、掺杂以及金属化等关键步骤上,有哪些截然不同的处理方式和技术难点。我也想知道,为了实现高击穿电压、低导通电阻和高开关频率等性能指标,需要在制造过程中采取哪些特殊的工艺控制和材料选择。这本书对我理解这项突破性技术的原理和潜力至关重要。

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最近在整理旧书架的时候,我意外发现了这本《半导体器件制造工艺》。说实话,我之前对半导体制造的了解非常有限,只知道它是一个非常复杂且高精尖的领域。当时我正在学习一些基础的电子电路知识,对其中电阻、电容、二极管等基本元器件的内部结构和工作原理产生了浓厚的兴趣,也隐约觉得这些器件的诞生离不开特殊的制造过程。因此,我带着一丝懵懂和好奇心,想要通过这本书来了解一下,究竟是什么样的技术,才能在硅晶圆上“雕刻”出如此微小的、功能各异的电子元件。我期待书中能以一种相对容易理解的方式,介绍半导体制造的基本流程,比如晶圆制备、薄膜生长、光刻、刻蚀、离子注入、金属化等等。我也很想知道,在整个制造过程中,有哪些关键的步骤决定了器件的性能和良率。如果能有一些直观的图示或者类比,那就更好了,能够帮助我这个初学者更好地理解那些复杂的工艺步骤。

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