《微電子製造工藝技術》是一本綜閤介紹微電子製造工藝的教材，是按照高職高專電子、通信類專業“十一五”規劃教材的要求編寫而成的。《微電子製造工藝技術》以矽器件平麵工藝為主綫，適當兼顧其他工藝方法。內容側重於微電子製造工藝技術的介紹，為方便半導體業界以外人士閱讀，還介紹瞭一些半導體理論基礎知識以及半導體工業方麵的內容，使讀者可以在較短時間內對微電子製造工藝有較為完整的認識，同時深入瞭解微電子技術的特點，掌握微電子製造工藝技術。每章後附有復習思考題，便於讀者自測、自查。針對微電子技術更新速度極快的特點，書後附錄中給齣瞭常用集成電路相關網址，便於讀者及時查閱新技術與新工藝。
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