微機電係統動力學 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024
发表于2024-12-28
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圖書描述
《微機電係統動力學》著重介紹微機電係統動力學的相關理論基礎與應用。全書共分為7章，主要內容包括：微機電係統及微機電係統動力學科學問題的發展背景、現狀和未來的介紹；微驅動原理及尺度效應、微機電係統動力學相關理論基礎的概述；微機電係統宏建模與分析方法、多能量場耦閤降階建模與模擬仿真技術的介紹；微機電係統中涉及的多種氣體阻尼和熱彈性阻尼特性的分析與探討；靜電驅動微機電係統非綫性動力學特性和微轉子係統中的摩擦磨損行為、氣體軸承動力潤滑特性和非綫性振動特性等方麵的論述；微機電係統動態特性測試技術的介紹。
《微機電係統動力學》可供高等院校微電子、機電一體化等專業的師生閱讀，也可供從事微機電係統和微係統設計、加工製造及應用技術的科技人員參考。
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