納米集成電路製造工藝（第2版） pdf epub mobi txt 電子書下載 2024

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張汝京等編著

清華大學齣版社

2017-1

471

89.00元

9787302452331

圖書標籤: 現代半導體工藝半導體 #FK #

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发表于2024-11-10

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圖書描述

本書共19章，涵蓋先進集成電路工藝的發展史，集成電路製造流程、介電薄膜、金屬化、光刻、刻蝕、錶麵清潔與濕法刻蝕、摻雜、化學機械平坦化，器件參數與工藝相關性，DFM（Design for Manufacturing），集成電路檢測與分析、集成電路的可靠性，生産控製，良率提升，芯片測試與芯片封裝等內容。再版時加強瞭半導體器件方麵的內容，增加瞭先進的FinFET、3D NAND存儲器、CMOS圖像傳感器以及無結場效應晶體管器件與工藝等內容。

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著者簡介

張汝京(Richard Chang)，1948年齣生於江蘇南京，畢業於颱灣大學機械工程學係，於布法羅紐約州立大學獲得工程科學碩士學位，並在南方衛理公會大學獲得電子工程博士學位。曾在美國德州儀器工作20年。他成功地在美國、日本、新加坡、意大利及中國颱灣地區創建並管理10個集成電路工廠的技術開發及運營。1997年加入世大集成電路（WSMC）並齣任總裁。2000年4月創辦中芯國際集成電路製造（上海）有限公司並擔任總裁。2012年創立昇瑞光電科技（上海）有限公司並齣任總裁，主要經營LED等及其配套産品的開發、設計、製造、測試與封裝等。2014年6月創辦上海新昇半導體科技有限公司並齣任總裁, 承擔國傢科技重大專項（簡稱“02專項”）的核心工程——“40—28納米集成電路製造用300毫米矽片”項目。張博士擁有超過30年的半導體芯片研發和製造經驗。2005年4月，榮獲中華人民共和國國務院頒發國際科學技術閤作奬。2006年獲頒中國半導體業領軍人物稱號。2008年3月，被半導體國際雜誌評為2007年度人物並榮獲SEMI中國産業卓越貢獻奬。2014年於上海成立新昇半導體科技有限公司，從事300毫米高端大矽片的研發、製造與行銷。