具體描述
《微納米MOS器件可靠性與失效機理》主要介紹瞭微納米MOS器件的失效機理與可靠性理論，目的是在微電子器件可靠性理論和微電子器件的設計與應用之間建立聯係，闡述微納米MOS器件的主要可靠性問題和係統的解決方法。全書論述瞭超大規模集成電路的可靠性研究現狀，提齣超大規模集成電路麵臨的主要可靠性問題；描述瞭微納米MOS器件的主要失效機理和可靠性問題，以及上述各種失效機製的可靠性加固方法等，也是作者十餘年在該領域從事的科學研究和國內外相關研究的部分總結。
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