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Glow Discharge Processes pdf epub mobi txt 电子书 下载 2024

Glow Discharge Processes
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Brian Chapman
Wiley-Interscience
1980-09-11
432
USD 206.95
Hardcover
9780471078289

图书标签: 电子  physics   

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发表于2024-11-22

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图书描述

Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.

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