Microsystem Design

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出版者:Springer
作者:Stephen D. Senturia
出品人:
页数:689
译者:
出版时间:2005-7-29
价格:USD 134.00
装帧:Hardcover
isbn号码:9780792372462
丛书系列:
图书标签:
  • MEMS
  • Engineering
  • 微系统设计
  • MEMS
  • 微机电系统
  • 传感器
  • 微电子
  • 集成电路
  • 系统设计
  • 工程
  • 电子工程
  • 纳米技术
  • 微纳器件
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具体描述

The goal of this book is to bring together into one accessible text the fundamentals of the many disciplines needed by today's engineer working in the field of microelectromechanical systems (MEMS). The subject matter is wide-ranging: microfabrication, mechanics, heat flow, electronics, noise, and dynamics of systems, with and without feedback. Because it is very difficult to enunciate principles of 'good design' in the abstract, the book is organized around a set of Case Studies that are based on real products, or, where appropriately well-documented products could not be found, on thoroughly published prototype work. The Case Studies were selected to sample a multidimensional space: different manufacturing and fabrication methods, different device applications, and different physical effects used for transduction. The Case Study subjects are: the design and packaging of a piezoresistive pressure sensor, a capacitively-sensed accelerometer, a quartz piezoelectrically-driven and sensed rate gyroscope, two electrostatically-actuated optical projection displays, two microsystems for the amplification of DNA, and a catalytic sensor for combustible gases. This book is used for a graduate course in 'Design and Fabrication of Microelectromechanical Devices (MEMS)' at the Massachusetts Institute of Technology. It is appropriate for textbook use by senior/graduate courses in MEMS, and will be a useful reference for the active MEMS professional. Each chapter is supplemented with homework problems and suggested related reading. In addition, the book is supported by a web site that will include additional homework exercises, suggested design problems and related teaching materials, and software used in the textbook examples and homework problems.

《微系统设计》(Microsystem Design) 书籍概述 《微系统设计》是一部深入探讨微电子系统设计、开发与制造的综合性著作。本书旨在为读者提供一个全面而系统的视角,涵盖从概念构思、架构设计到实际器件实现与系统集成的各个环节。它不仅关注微系统核心组件的原理与工艺,更着重于系统层面的优化、性能分析以及在不同应用领域中的落地实践。本书适合于电子工程、微电子学、计算机工程等相关专业的学生、研究人员以及在业界从事微系统设计、集成电路开发、半导体工艺等工作的工程师。 内容深度剖析 本书的撰写逻辑清晰,由浅入深,循序渐进地引导读者理解微系统设计的复杂性与精妙之处。 第一部分:微系统设计基础与架构 微系统概述与发展趋势:开篇即为读者构建对微系统的宏观认识。从微电子技术的发展历程出发,阐述了微系统(Microsystem)这一概念的提出背景、核心特征(如高集成度、低功耗、多功能性)以及其在当今科技发展中的战略地位。重点分析了微系统在摩尔定律之外的演进方向,例如异构集成、三维堆叠、软硬件协同设计等,并展望了未来微系统技术可能面临的挑战与机遇,如量子计算接口、生物传感器集成、AI硬件加速器等。 微系统架构设计原理:本部分深入探讨了构建高效微系统的基本原则。涵盖了从系统级需求分析、功能划分、接口定义到模块化设计策略。书中强调了在架构设计阶段进行权衡的重要性,例如在性能、功耗、成本、面积、可靠性与可制造性之间的取舍。读者将学习如何根据不同的应用场景(如移动设备、物联网终端、高性能计算、医疗设备)选择合适的架构范式,并理解不同架构对后续设计流程的影响。 关键技术与工艺节点:对支撑微系统设计的核心半导体制造技术进行介绍。从CMOS工艺的基本原理出发,详细阐述了不同代际的工艺节点(如纳米级制程)的特点、优势与局限。书中会涉及光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入等关键工艺步骤,以及它们如何影响器件性能和功耗。此外,还会触及先进封装技术,如扇出晶圆级封装(Fan-Out Wafer Level Packaging)、三维集成(3D Integration)等,这些技术对于实现高密度、高性能的微系统至关重要。 第二部分:核心器件设计与模型 数字逻辑电路设计:深入讲解了数字电路设计的各个层面,从基本逻辑门到复杂的处理器架构。读者将学习组合逻辑和时序逻辑的设计方法,如逻辑综合、时序分析、静态时序分析(STA)等。书中会涉及HDL(硬件描述语言,如Verilog或VHDL)在设计流程中的应用,以及如何利用EDA(电子设计自动化)工具进行仿真、验证和布局布线。针对低功耗设计,会介绍时钟门控、电源门控、动态电压频率调整(DVFS)等技术。 模拟与混合信号电路设计:涵盖了模拟电路设计的经典原理与现代实现技术。包括运算放大器、滤波器、数模转换器(ADC)、模数转换器(DAC)等基本模块的设计。书中会分析噪声、失真、带宽、线性度等关键参数,并介绍如何通过电路拓扑和器件选择来优化这些性能。混合信号电路的设计挑战,如信号完整性、串扰、时钟抖动等,以及相应的解决方案也将得到详细阐述。 存储器设计:对不同类型的存储器(如SRAM, DRAM, Flash)的结构、工作原理和设计挑战进行深入分析。读者将了解静态随机存取存储器(SRAM)和动态随机存取存储器(DRAM)的单元结构、读写时序以及性能权衡。闪存(Flash Memory)的原理、写入/擦除机制以及可靠性问题也会被详细讨论。针对高速和低功耗存储器设计,书中会介绍一些前沿技术。 射频(RF)与通信模块设计:介绍设计用于无线通信的射频前端和基带处理模块。包括低噪声放大器(LNA)、功率放大器(PA)、混频器、锁相环(PLL)等关键射频电路的设计。书中会分析射频电路的噪声、增益、线性度、阻抗匹配等关键指标。对于通信模块,将探讨信号调制解调、信道编码、均衡等技术,以及如何在微系统内实现高效的通信功能。 第三部分:微系统集成与测试 片上系统(SoC)设计流程:详细阐述了从概念到量产的完整SoC设计流程。涵盖了系统级建模、IP核集成、总线协议(如AMBA AXI)、嵌入式软件开发、硬件加速器设计等。书中会强调跨学科团队协作的重要性,以及在SoC设计中遇到的各种挑战,如功耗管理、热效应、信号完整性、时钟分布等。 互连与封装技术:深入探讨了微系统内部和外部的互连问题。从芯片内部的金属布线、寄生参数的建模与分析,到芯片间的互连,再到先进的封装技术,如2.5D和3D封装,本书将全面介绍如何通过优化互连来提升性能和减小尺寸。读者将了解如何处理信号完整性、串扰、电源分配网络(PDN)问题。 可靠性与功耗管理:探讨了确保微系统在长期使用中的稳定性和效率。书中会分析各种可能导致器件失效的因素,如电迁移、热应力、击穿等,并介绍设计上如何提高器件的可靠性,如冗余设计、错误检测与纠正(EDAC)等。针对功耗管理,将详细介绍静态功耗和动态功耗的来源,以及各种降低功耗的技术,如门控时钟、动态电压调整、低功耗状态等。 验证与测试:强调了验证和测试在微系统设计中的关键作用。从功能验证、性能验证到物理验证,本书将介绍各种验证方法和工具,包括仿真、形式验证、硬件加速验证等。对于制造后的测试,将阐述测试向量生成、故障模型、测试覆盖率等概念,以及如何设计可测性电路(DFT)来降低测试成本和提高测试效率。 第四部分:应用领域与前沿方向 嵌入式系统与物联网(IoT):分析了微系统在嵌入式系统和物联网领域的广泛应用。从传感器节点的低功耗设计、数据采集与处理,到边缘计算设备的智能化,本书将展示微系统如何赋能万物互联。 高性能计算与人工智能:探讨了微系统如何驱动高性能计算(HPC)和人工智能(AI)的发展。例如,专用的AI加速器(如GPU、TPU)的设计原理,以及如何通过异构集成来构建更加强大的计算平台。 生物与医疗微系统:介绍微系统在生物技术和医疗健康领域的创新应用。如微流控芯片、生物传感器、植入式医疗设备等,展示了微系统如何实现精准诊断、个性化治疗和疾病监测。 汽车电子与工业自动化:分析了微系统在汽车电子(如ADAS、车载娱乐)和工业自动化(如机器人、智能工厂)中的作用。强调了这些领域对微系统的高可靠性、安全性以及实时性的要求。 面向未来的微系统挑战:展望了微系统设计所面临的未来挑战,包括尺寸的极限、材料科学的突破、新的计算范式(如量子计算)的集成,以及可持续性设计和绿色制造的必要性。 结论 《微系统设计》是一部内容翔实、结构严谨的专业著作,它不仅梳理了微系统设计领域的经典理论与技术,更紧密追踪了最新的发展动态与前沿趋势。通过对本书的学习,读者能够系统地掌握微系统从概念到实现的全过程,为在这一快速发展的领域中进行创新与实践奠定坚实的基础。本书的价值在于其提供了解决复杂设计问题的框架与方法,培养读者在不同约束条件下进行优化与权衡的能力,从而设计出满足特定需求的高性能、高可靠性微系统。

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读后感

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用户评价

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这本书的排版和图示质量也值得特别称赞。在处理如此密集的专业信息时,清晰的视觉辅助是吸收知识的关键。《Microsystem Design》在这方面做得非常出色,几乎每一个复杂概念的阐述都配有一张精心绘制的方框图或者流程图,这些图示逻辑严密,标注清晰,极大地降低了理解复杂数据路径和控制流的难度。我尤其喜欢它在介绍时序分析和时钟域交叉(CDC)问题时所使用的动态图示,那种模拟信号流动的视觉效果,比纯文字描述有效得多。此外,书本的索引系统做得非常人性化,当我需要快速查找某个特定模块(比如FIFO或PLL)的设计规范时,可以迅速定位到相关章节。这种对细节的关注,体现了作者对读者体验的尊重。相比于一些排版混乱、图表质量低劣的同行书籍,这本书在阅读的舒适度和学习的效率之间找到了一个绝佳的平衡点,使得长时间的深入阅读也变得不那么枯燥乏味。

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我最近在准备一个关键项目的系统架构评审,手边翻阅了许多资料,但最终还是频繁地回到《Microsystem Design》中寻找关键性的判断依据。这本书最吸引我的一点,是它并没有提供“标准答案”,而是系统性地展示了工程决策中的“权衡艺术”。例如,在讨论存储器层次结构时,作者详细对比了SRAM、eDRAM和Flash在成本、速度、密度和功耗四个维度上的动态关系,并给出了如何在不同性能目标下选择最优配置的决策树。这种训练读者批判性思维的教育方式,远比死记硬背参数更有价值。它教会我如何构建一个可扩展、可维护且具备前瞻性的微系统蓝图,而不是仅仅实现一个能跑起来的原型。每一次重读,我都能从不同的侧重点挖掘出新的洞察,无论是关于IP复用策略,还是关于设计收敛性的管理,这本书都提供了足够成熟和经过实践检验的框架。它已经从一本参考书,蜕变成了我设计工作中不可或缺的“参谋本”。

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这本《Microsystem Design》简直是为我这种初入硬件设计领域的新手量身定做的宝典!我一直对那些复杂精密的微小系统充满好奇,但市面上的教材往往深奥难懂,让人望而却步。然而,这本书的开篇就极其友好,它没有直接抛出复杂的数学公式和晦涩的术语,而是通过一系列生动有趣的案例,将微系统设计(System-on-Chip, SoC)的宏观概念娓娓道来。比如,作者深入浅出地解析了一个智能手机内部的电源管理单元是如何协同工作的,这种从实际应用切入的讲解方式,让我一下子就抓住了核心——设计不仅仅是堆砌技术,更是一种解决实际问题的艺术。书中对不同设计流程的对比分析也格外清晰,从行为级描述到寄存器传输级(RTL)的演进,每一步的权衡取舍都被描绘得淋漓尽致。我特别欣赏它对设计验证(Verification)的重视,作者强调了早期发现错误的重要性,并介绍了几种主流的仿真和形式化验证方法,这对于我这种害怕返工的“完美主义者”来说,简直是福音。读完前几章,我已经不再对“系统级设计”感到迷茫,反而激发了强烈的探索欲,迫不及待想翻开下一页,看看那些更深层次的架构选择。

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说实话,这本书的深度和广度着实令人印象深刻,它绝不是那种只停留在教科书表层知识的“速成指南”。对于有一定经验的工程师而言,这本书提供了许多值得细品的“干货”。我尤其对其中关于低功耗设计策略的那一章爱不释手。作者没有采用笼统的概括,而是详细剖析了时钟门控、电源门控、动态电压频率调节(DVFS)等技术的底层实现细节和它们在不同应用场景下的适用性边界。书中甚至引用了最新的学术研究成果,将理论与前沿技术紧密结合,这使得内容具有极高的时效性和参考价值。举个例子,在讨论片上网络(NoC)的设计时,作者不仅分析了Mesh和Torus拓扑结构的优劣,还深入探讨了路由算法对延迟和功耗的影响,这种层层递进、精益求精的写作风格,让人感觉作者是站在行业前沿,手把手地传授经验。我甚至发现自己开始重新审视过去项目中一些看似“标准”的设计选择,意识到背后还有更多优化空间。对于追求极致性能和效率的专业人士来说,这本书无疑是一部值得反复研读的案头参考书。

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我以一个软件开发者的视角来看待这本《Microsystem Design》,起初还有些担心,觉得这会不会是纯粹的硬件描述语言(HDL)和电路理论的堆砌。然而,事实证明我的担忧完全是多余的。这本书最成功的地方在于构建了“软硬件协同设计”的完整视角。它清晰地阐述了软件需求如何反向驱动硬件架构的决策,这对于我们构建现代嵌入式系统至关重要。书中对于处理器内核选择的讨论非常精彩,比如RISC-V架构的开放性和可扩展性如何影响整个系统的设计灵活性,以及如何通过定制指令集来加速特定算法,这些内容都极大地拓宽了我的视野。我过去总是在软件层面做性能优化,但这本书让我明白了,很多时候瓶颈根源于底层的硬件接口或内存访问模式。它教会我如何与硬件工程师进行更高效的沟通,用共同的语言去探讨并行化和数据流的最佳实现方式。这种跨学科的融合视角,让这本书的价值远超出了单纯的硬件设计范畴,它更像是一本现代系统架构的思维训练手册。

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Ch 1&2, 5-8, 11-13, 18&19, 21. Lumped modeling, linear/nonlinear system dynamics, elasticity, dissipation and thermal energy domain, lumped modeling of dissipative process, fluids, a piezoresistive pressure sensor, a capacitive accelerometer, a piezoelectric rate gyroscope. 本课项目:用COMSOL和LTSPICE做了一个CMUT, ieee格式论文。//系统那章好难啊~本科信号与系统没学好,这章差点看哭了

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Ch 1&2, 5-8, 11-13, 18&19, 21. Lumped modeling, linear/nonlinear system dynamics, elasticity, dissipation and thermal energy domain, lumped modeling of dissipative process, fluids, a piezoresistive pressure sensor, a capacitive accelerometer, a piezoelectric rate gyroscope. 本课项目:用COMSOL和LTSPICE做了一个CMUT, ieee格式论文。//系统那章好难啊~本科信号与系统没学好,这章差点看哭了

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Ch 1&2, 5-8, 11-13, 18&19, 21. Lumped modeling, linear/nonlinear system dynamics, elasticity, dissipation and thermal energy domain, lumped modeling of dissipative process, fluids, a piezoresistive pressure sensor, a capacitive accelerometer, a piezoelectric rate gyroscope. 本课项目:用COMSOL和LTSPICE做了一个CMUT, ieee格式论文。//系统那章好难啊~本科信号与系统没学好,这章差点看哭了

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Ch 1&2, 5-8, 11-13, 18&19, 21. Lumped modeling, linear/nonlinear system dynamics, elasticity, dissipation and thermal energy domain, lumped modeling of dissipative process, fluids, a piezoresistive pressure sensor, a capacitive accelerometer, a piezoelectric rate gyroscope. 本课项目:用COMSOL和LTSPICE做了一个CMUT, ieee格式论文。//系统那章好难啊~本科信号与系统没学好,这章差点看哭了

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