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Electroceramic Based Mems pdf epub mobi txt 电子书 下载 2024

Electroceramic Based Mems
☆☆☆☆☆
简体网页||繁体网页
Setter, Nava 编
Springer Verlag
2005-3
428
$ 247.47
HRD
9780387233109

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发表于2024-11-29

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图书描述

The book is focused on the use of functional oxide and nitride thin films to increase functionality and application range of MEMS (microelectromechanical systems) in the large sense, including micro-sensors, micro-actuators, and electronic components for high frequency communications. The book covers major topics and is divided into two parts (a) applications and emerging applications, and (b) materials, fabrication technologies, and functioning issues.

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