High Resolution Focused Ion Beams pdf epub mobi txt 电子书 下载 2026

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出版者:Kluwer Academic Pub

作者:Orloff, Jon/ Swanson, Lynwood/ Utlaut, Mark William

出品人:

页数:315

译者:

出版时间:2002-10

价格:$ 371.77

装帧:HRD

isbn号码:9780306473500

丛书系列:

图书标签:

• Focused Ion Beam
• FIB
• Materials Science
• Nanotechnology
• Surface Analysis
• Microscopy
• Ion Beam Technology
• Thin Film
• Semiconductor
• High Resolution Imaging

好的，这是一本关于微纳尺度加工与表征技术的图书简介，内容详实，力求贴近专业领域读者的需求，不提及您提到的那本具体的书籍。 --- 书籍名称：《先进材料的微纳加工、表征与应用前沿》 本书简介 本书聚焦于当代材料科学与工程领域最为活跃且关键的微米、纳米尺度加工技术、高精度表征手段及其在尖端科技中的应用。在信息技术、生物医学、新能源和先进制造等领域对材料性能提出更高要求的背景下，对物质进行精确的结构调控和深层次的物性理解已成为制约技术突破的核心瓶颈。《先进材料的微纳加工、表征与应用前沿》旨在系统梳理和深入探讨当前主流和新兴的微纳尺度制造工艺，并结合先进的物理、化学分析技术，为研究人员和工程师提供一个理论与实践相结合的参考平台。 第一部分：微纳加工的物理基础与工艺体系 本部分详尽阐述了实现微纳尺度结构构建所依赖的基本物理原理和工程化挑战。 第一章：微纳加工的物理基础 本章深入剖析了在亚微米甚至纳米尺度上材料与能量相互作用的物理机制。重点探讨了能量束（包括光子、电子、离子）与物质的相互作用截面、能量沉积模型，以及由此产生的热效应、空间尺度限制和表面效应。讨论了近场光学理论在超分辨加工中的应用潜力，以及量子效应在极小尺度制造中引入的新的工艺限制。此外，对高能束流的聚焦、传输与稳定性进行了数学建模分析，为后续的工艺优化打下理论基础。 第二章：经典与新兴的微纳刻蚀技术 微纳结构的形成离不开精确的去除过程。本章系统比较了干法刻蚀（如反应离子刻蚀 RIE、深反应离子刻蚀 DRIE）的等向性控制、侧壁形貌、以及对不同材料体系的适用性。详细分析了深层刻蚀的侧壁损伤机理和钝化层控制，特别是针对高深宽比结构的工艺窗口优化。同时，介绍了等离子体刻蚀的动力学模型，以及光子辅助刻蚀在特定材料（如透明材料）中的优势。在湿法刻蚀方面，讨论了化学选择性腐蚀的动力学控制和表面张力对微结构形貌的影响，并提出湿法与干法联合工艺的策略。 第三章：微纳尺度的沉积与生长技术 本部分涵盖了从零开始构建三维微纳结构的关键技术。详细论述了物理气相沉积（PVD），包括磁控溅射、电子束蒸发和脉冲激光沉积（PLD）的微纳尺度膜厚均匀性控制和晶粒结构演化。在化学气相沉积（CVD）方面，重点探讨了原子层沉积（ALD）在实现自限域、超薄和高保形性薄膜方面的独特优势，并分析了ALD反应中间体的表面化学机制。此外，介绍了溶液法沉积和自组装技术（如电化学沉积、溶胶-凝胶法）在构建复杂多孔结构和功能界面中的应用。 第四章：直接写入与高精度成型技术 本章关注无需掩模的直接制造方法。系统介绍了电子束直写光刻（EBL），包括其分辨率极限、高对比度光刻胶的选择、以及大面积写入的效率瓶颈。对聚焦离子束（FIB）的材料去除与沉积应用进行了深入分析，特别是其在三维精细修饰和原位失效分析中的关键作用，以及高能离子束对材料晶格的影响。同时，探讨了高精度光刻技术（如浸润式光刻、极紫外光刻 EUV）在产业化进程中的技术路线和当前挑战，以及激光直写在快速原型制造中的多尺度适用性。 第二部分：微纳尺度的物性表征与分析 精确的加工必须依赖于精确的表征手段，本部分聚焦于如何“看清”和“理解”微纳尺度下的材料结构与性能。 第五章：微区结构的二维与三维成像 本章详细阐述了用于观察微纳结构的高分辨率成像技术。深入分析了扫描电子显微镜（SEM）的成像原理、二次电子和背散射电子的信号起源、以及背散射电子衍射（EBSD）在晶粒取向和应力分析中的应用。重点介绍了透射电子显微镜（TEM）在原子尺度成像、高分辨衍射（HRTEM）和配套的能量分散X射线谱（EDS）或电子能量损失谱（EELS）进行元素分析和化学键态研究的复杂操作流程和数据解读方法。此外，探讨了原子力显微镜（AFM）在获取高精度形貌、摩擦力、磁力等表面信息方面的多模式应用。 第六章：微区成分与化学态分析 本部分致力于微区成分的定性和定量分析。详细介绍了X射线光电子能谱（XPS）用于表面元素的化学态分析，包括峰拟合技术和深度剖析策略。针对更深层的分析，讨论了二次离子质谱（SIMS）的高灵敏度、高深度分辨率特性及其在同位素示踪中的应用。在微区分析方面，重点阐述了拉曼光谱（Raman）和红外光谱（FTIR）的共聚焦技术，如何实现对材料局部晶格振动、分子键合和应力分布的映射。 第七章：微纳尺度的物理性能测试 本章关注微纳结构的功能性测试。系统介绍了微/纳米压痕技术，用于测量薄膜和界面的硬度、杨氏模量和粘附力，并探讨了离线和原位（如加热、电学偏置）压痕对测试结果的影响。对微机电系统（MEMS）测试平台进行了综述，包括如何测量微梁的弯曲、疲劳寿命和阻尼特性。此外，还讨论了如何利用电子束或离子束诱导的信号采集（如光电流、载流子扩散长度）来评估半导体和光电材料的局部电学性能。 第三部分：跨学科应用与集成挑战 本部分将前两部分的知识体系应用于解决实际的跨学科工程问题，并展望未来的集成化趋势。 第八章：生物医学微纳器件制造与应用 本章探讨了材料加工与生物学界面的技术融合。详细描述了用于微流控芯片（Lab-on-a-Chip）的精密结构制造，包括软光刻技术（PDMS）的优化和硬质材料（如玻璃、硅）的深层刻蚀工艺。讨论了生物相容性材料的表面功能化，如利用等离子体或ALD技术实现特定的蛋白质吸附或细胞粘附控制。案例分析集中在高通量筛选平台、细胞培养基质的结构设计与制造。 第九章：新能源器件的微结构工程 聚焦于电池、光伏和催化领域。在锂离子电池方面，探讨了如何通过调控电极材料的微纳孔隙结构来提升离子传输速率和电化学性能。对于光伏器件，分析了利用表面等离子体共振效应（SPR）或光栅结构进行光捕获的微结构设计。在电催化领域，重点讨论了高比表面积纳米结构的控制生长，以及如何利用原位表征技术揭示催化反应机理。 第十章：先进封装与可靠性工程 随着微纳器件复杂度的提升，连接和封装成为关键。本章讨论了高密度互连（HDI）中的微孔填充技术和三维堆叠技术。深入分析了键合技术（如超声波键合、热压键合）的界面控制，以及热管理材料在微纳尺度下的导热性能优化。本章最后强调了微纳尺度的失效分析方法，如何利用聚焦的能量束或探针技术，在不破坏器件整体结构的前提下，准确定位和诊断早期失效点。 结语 本书旨在为致力于微纳尺度科学研究和工程实践的读者提供一份全面、深入且富有启发性的指南。通过对加工、表征和应用链条的系统整合，期望能够激发创新思路，加速前沿技术从实验室走向实际应用的步伐。 --- 关键词： 微纳加工、高精度表征、聚焦离子束、原子层沉积、微流控、薄膜技术、表面分析、纳米力学。

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