Principles and Practice of Photochemical MacHining and Photoetching

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出版者:CRC Pr I Llc

作者:Allen, David M.

出品人:

頁數:0

译者:

出版時間:

價格:65

裝幀:HRD

isbn號碼:9780852744390

叢書系列:

圖書標籤:

光化學加工
光蝕刻
微製造
精密加工
材料去除
錶麵處理
光刻技術
MEMS
微電子
工程技術

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