Thin Films Material Technology

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出版者:Springer
作者:Kiyotaka Wasa
出品人:
页数:0
译者:
出版时间:2004-09-23
价格:0
装帧:Hardcover
isbn号码:9783540211181
丛书系列:
图书标签:
  • 薄膜技术
  • Sputteren
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具体描述

An invaluable resource for industrial science and engineering newcomers to sputter deposition technology in thin film production applications, this book is rich in coverage of both historical developments and the newest experimental and technological information about ceramic thin film, a key technology for nano-materials in high-speed information applications and large-area functional coating such as automotive or decorative painting of plastic parts.</P>

Key topics: Principles and examples of making thin-film materials and devices such as nanometer composite thin films, nanometer superlattice of compound ceramics, micro-sensors and actuators, micro-MEMS, mobile compact/flexible ferroelectric memory, flat display including plasma display and PLD, and thin film catalysis, solar battery, and large-area functional window glass coating for energy and environmental uses; Covers techniques in automotive parts coatings :non-peel plastics coatings with metal, alloy, and compound films.</P>

穿越光影的物质奥秘:精细控制与物质形态的探索 这是一本关于物质微观世界的严谨探索,深入剖析了在极微尺度下,物质的性质如何因形态的改变而发生翻天覆地的变化。本书不涉及特定书名“Thin Films Material Technology”的内容,而是将目光投向更广阔的领域,聚焦于物质从宏观块体到微观结构转变过程中涌现出的奇特现象及其背后深刻的物理化学原理。 我们日常所见的物质,往往以块体的形式存在,其性质我们习以为常。然而,当我们将物质的尺度不断缩小,直至达到纳米甚至亚纳米级别,其行为方式将与我们熟知的块体截然不同。本书将引领读者进入这样一个令人着迷的微观世界,从原子排列、晶体结构、表面能、量子效应等基本概念出发,系统阐述物质形态变化如何影响其宏观性能。 一、形态转变与性质涌现 本书的第一部分将聚焦于“形态转变”这一核心概念。我们将从微观的原子层面出发,探讨物质的排列方式如何决定其晶体结构,以及不同晶体结构(如面心立方、体心立方、六方密堆积等)如何导致材料在力学、电学、磁学、光学等方面的显著差异。例如,同一种元素,在不同的晶体结构下可能表现出截然不同的硬度、导电性甚至颜色。 随后,我们将深入研究“尺寸效应”。当物质的尺度接近甚至小于其特征长度(如电子的平均自由程、声子的平均自由程、激子波长等)时,量子力学效应将变得不可忽视。本书将详细解析量子尺寸效应、表面量子尺寸效应等概念,解释为何纳米颗粒的熔点会降低,为何某些材料的荧光光谱会发生蓝移,以及为何纳米材料的催化活性会显著提高。我们将通过具体的物理模型和数学推导,让读者理解这些微观尺度的转变如何带来宏观性能的涌现。 二、精细控制的艺术与技术 理解了形态转变带来的性质涌现,本书的第二部分将转向“精细控制”的艺术与技术。这部分内容将探讨如何通过各种手段,对物质的微观结构进行精确调控,以获得我们期望的宏观性能。 我们将介绍各种主要的物质制备技术,这些技术旨在实现对物质形态的精准塑造。例如,化学合成方法,如溶胶-凝胶法、沉淀法、水热法等,如何通过控制反应条件,在溶液中“生长”出特定尺寸和形貌的纳米粒子。物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)等薄膜制备技术,又如何将原子或分子一层一层地“堆叠”起来,形成具有特定厚度和结构的薄膜。 本书还将深入探讨“结构调控”的策略。这包括但不限于: 尺寸控制: 如何通过改变前驱体浓度、反应温度、时间、pH值等参数,精确控制纳米材料的平均粒径和粒径分布。 形貌控制: 如何利用模板法、定向生长等技术,制备出具有特定形貌(如纳米线、纳米棒、纳米片、纳米笼等)的材料,以及不同形貌如何影响材料的表面积、催化活性和光学响应。 晶体结构控制: 如何通过退火、晶格畸变等手段,诱导材料从一种晶体结构转变为另一种,从而改变其电学或磁学性质。 界面工程: 在多组分材料体系中,如何通过精确控制不同组分之间的界面结构和化学状态,实现性能的协同增强。例如,异质结的构建如何影响电子的传输特性。 三、性能表征与应用前景 掌握了物质制备与控制的技术,如何准确地“看见”和“理解”这些微观世界的奥秘,以及如何将其转化为实际应用,将是本书第三部分的重点。 我们将详细介绍各种先进的“性能表征”技术。这包括: 结构表征: X射线衍射(XRD)如何分析晶体结构和晶格参数;透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)如何观察材料的形貌、尺寸和微观结构;原子力显微镜(AFM)如何探测材料表面的三维形貌和力学性质。 化学成分与电子态表征: X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)如何分析材料表面的化学组成和元素的价态;紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)和荧光光谱(PL)如何研究材料的光学性质和电子能带结构;拉曼光谱(Raman)和红外光谱(IR)如何获取材料的振动信息。 电学与磁学性能测试: 四探针法、霍尔效应测量如何评估材料的导电性和载流子特性;振动样品磁力仪(VSM)和SQUID磁力计如何测量材料的磁学参数。 最后,本书将展望这些基于物质形态精细控制所实现的性能涌现,在各个领域的广阔“应用前景”。从高效的催化剂到高性能的半导体器件,从新型的光电器件到先进的生物医学材料,这些微观世界的精巧设计正在深刻地改变着我们的科技发展和社会生活。我们将探讨,通过对物质形态的深刻理解和精准控制,人类如何能够创造出前所未有的功能性材料,解决能源、环境、健康等领域面临的重大挑战。 本书旨在为读者构建一个关于物质形态与其性能之间深刻关联的完整认知框架,激励对微观物质世界的好奇心,并为未来的材料科学研究与技术创新提供坚实的基础。

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目录信息

读后感

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用户评价

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《薄膜材料技术》这本书简直是我的科研救星!我之前在做半导体器件的薄膜沉积时,总是遇到各种棘手的问题,比如膜层不均匀、附着力差等等,翻阅了市面上好几本相关的书籍,感觉内容都停留在理论层面,对于实际操作指导性不强。直到我接触到这本《薄膜材料技术》,简直打开了新世界的大门。它的内容覆盖面非常广,从基础的薄膜生长机理到各种先进的制备技术,比如原子层沉积(ALD)和脉冲激光沉积(PLD),都讲解得深入浅出,并且充满了大量的工程实例。我尤其欣赏它在“缺陷控制与表征”这一章节的详尽论述,书中对薄膜中常见的位错、空位等缺陷如何影响器件性能进行了细致的分析,并提供了具体的优化方案。对于我这种需要精细控制薄膜微观结构的研究者来说,这本书的价值无可估量。它不仅仅是一本教科书,更像是一位经验丰富的导师在身边指导,让人感觉非常踏实可靠。

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这本书的排版和图表质量也值得称赞。在处理涉及复杂晶体结构、能带图和薄膜界面结构示意图时,制图清晰,标注明确,极大地帮助了我的理解。我记得有一次我在试图理解溅射过程中离子轰击对薄膜沉积的影响,脑海中一直无法构建出清晰的物理图像。后来查阅了书中关于“高能粒子束与靶材相互作用”的插图,那张图精确地展示了级联碰撞和靶材溅射的原子模型,瞬间就茅塞顿开。这种对细节的极致追求,让阅读过程中的挫败感大大降低。而且,书中的参考文献组织得非常好,每一章末尾都列出了关键性的经典文献和近期的重要综述,为我后续的深入文献调研指明了方向,避免了我在浩瀚的文献海洋中盲目摸索,非常高效。

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坦白说,我最初拿到这本书时,心里还有点打鼓,生怕内容又是一堆陈词滥调,但实际翻阅后,我的担忧完全是多余的。这本书最让我眼前一亮的是它对“新型功能薄膜”的关注度非常高。它没有仅仅停留在传统的硅基或光电薄膜上,而是花了大量篇幅去探讨了诸如拓扑绝缘体薄膜、二维材料异质结等前沿领域。例如,关于铁电薄膜的记忆器件应用部分,作者详细梳理了不同掺杂策略对极化反转阈值电压的影响,并附带了详细的相图分析。这些内容在国内其他教材中是很难找到如此系统和深入的论述的。它迫使我跳出固有的研究框架,去思考薄膜技术在未来计算和能源存储领域的巨大潜力。读完后,我感觉自己的知识库得到了极大的扩展,不再局限于已有的技术路径,而是能够更具前瞻性地规划我的研究方向。

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这本书的实用性已经超出了学术书籍的范畴,它更像是一本工艺手册的升级版。我特别喜欢它在介绍特定薄膜制备方法时,对工艺参数窗口的敏感性分析。比如,在PECVD制备氮化硅薄膜时,它不仅给出了常用的温度和气压范围,还详细分析了等离子体功率变化对薄膜应力和介电常数的非线性影响,并给出了如何通过实时监测等离子体发射光谱来反馈控制工艺的建议。这对于工程实践人员来说,简直是黄金标准的操作指南。我甚至把我实验室里新来的几位研究生带的第一本入门资料定为这本书的特定章节,因为它用最严谨的科学语言,描述了最贴近工业生产的实际操作要点。它教会我的不仅仅是“怎么做”,更是“为什么这么做”以及“如何保证结果的可重复性”,这是很多只有理论深度的书籍无法提供的。

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这本书的阅读体验非常令人愉悦,它完全颠覆了我对传统技术类书籍那种枯燥乏味的印象。作者在行文上非常注重逻辑的连贯性和知识的层层递进。我特别喜欢它在介绍不同薄膜系统(如氧化物、氮化物和金属薄膜)时,所采用的对比和归纳的方法。举个例子,在讨论氧化物薄膜的电学性能时,它会清晰地对比不同晶体结构对载流子迁移率的影响,并且结合了先进的计算模拟结果进行佐证,这使得抽象的物理概念变得非常直观。对于初学者来说,它提供的背景知识足够扎实,不会让人在接触复杂技术时感到无从下手;而对于资深研究人员而言,其中引用的最新研究进展和对未来发展趋势的预测,也提供了很多启发性的思考方向。总的来说,它在理论深度和应用广度之间找到了一个近乎完美的平衡点。

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长注释:http://www.douban.com/subject/discussion/19557413/

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