图书标签:
发表于2024-11-10
微系统技术 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2024
本书是德国WILEY-VCH出版社“Microsystem Technology”一书的中译本,讲述微系统技术领域内的相关内容。全书分为10章,前4章介绍微系统技术的基础知识、如微系统与微结构间的相互关系、单晶硅的生产、微系统技术的物理和化学基础等;5-10章为本书核心,详细介绍微系统技术的基本工艺方法,包括光刻技术、硅技术、LIGA技术(X射线电镀成型)、封装技术等。
本书可作为高校相关专业学生的等候课教材和课外读物,也适用于微系统技术的专业人员和对微系统技术感兴趣的人员阅读。
评分
评分
评分
评分
微系统技术 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2024