金刚石低压气相生长的热力学耦合模型

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出版者:科学出版社
作者:王季陶
出品人:
页数:163 页
译者:
出版时间:1998年01月
价格:12.0
装帧:平装
isbn号码:9787030070975
丛书系列:
图书标签:
  • 金刚石生长
  • CVD
  • 热力学
  • 耦合模型
  • 薄膜
  • 材料科学
  • 气相沉积
  • 热力学分析
  • 数值模拟
  • 生长机制
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具体描述

80年代以来,激活低压金刚石气相生长新技术逐渐成为世界范围的研究热点,人们进行了许多试验,从各方面做了尝试。理论上,本书作者提出的非平衡定态相图新概念开辟了一个全新领域。本书系统介绍了相关内容,主要包括热力学基础、激活低压金刚石生长的非平衡热力学、C-H-O三元体系的金刚石生长相图、碳氢卤素等其它三元体系的金刚石气相生长相图、一些常用双组分的二元和赝二元体系相图。

作者简介

目录信息

前言
一、概论
1?1 金刚石的特性与应用
1?2 各种不同的人造金刚石方法
1?3 影响金刚石低压气相生长的一些主要因素
二、热力学基础
2?1 经典热力学
2?2 经典平衡热力学
2?3 经典热力学中的非平衡热力学
2?4 非平衡热力学基础
三、激活低压金刚石生长的非平衡热力学
3?1 非平衡热力学耦合模型
3?2 人造金刚石生长中的反应势垒研究
3?3 金刚石低压气
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