本書從統一的角度論述瞭應用於電子束器件、電子顯微學、質譜學、微分析與錶麵分析、微電子工藝技術、加速器與核科學技術及電子束工藝技術等方麵的現代電子光學(帶電粒子光學)的共有的理論基礎、分析方法與主要的最新進展。本書包括電子運動的質點動力學基礎,電場與磁場研究,鏇轉對稱係統,直軸多極場係統,電子束流的傳輸,束電流密度分布的演化,波動電子光學基礎,掃描偏轉係統,麯光軸係統與偏轉分析器,自鏇極化電子光學初步,飛行時間分析器與運動穩定性分析器等內容。 本書適用於物理電子學與光電子學、電子物理與離子束物理、真空物理、加速器與實驗核物理技術、光電成象技術等專業的碩士與博士生使用,也可供上述領域與專業的科研人員、工程師、教師與高年級本科生參考。
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