微納米技術近年來迅速發展，涉及領域越來越廣泛，本書對維納米技術的兩大方麵——電子係統的微型化和信息密集化，並側重微納米技術潛在應用前景進行瞭全麵闡述，介紹瞭國外最新的微納米技術的研究動態和發展趨勢，對我國正在蓬勃興起的微納米技術研究和應用有很好的藉鑒意義，本書的作者來自美國國傢科學院、國傢工程院和國傢醫學院的資深研究人員，讀者對象為微納米技術、微機電係統的科研人員、大學院校師生。
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