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发表于2024-11-11
微慣性儀錶 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024
微機械加速度計是以IC工藝和微機械加工工藝為基礎製作的MEMS器件,在軍民兩用領域均有廣泛的應用前景。本書以作者參加“九五”、“十五”重點預研課題及清華大學“985”校級重點項目工作為基礎寫成。全書共分9章,主要內容包括:微機械加速度計的類型、工作原理及數學模型,電容式微機械加速度計的結構和電路,微機械加速度計的集成、誤差分析、主要性能指標及測試方法,微機械加速度計的應用及進一步研究動嚮等。 本書
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