微機電係統（MEMS,即Micro Electro Mechanical System）與微電子學、信息學、材料科學和納米技術等密切相關，具有體積小、精度高、重量輕、性能可靠穩定、能耗低、靈敏度高、工作效率高，以及多功能智能化和適於大批量生産，成本低廉等一係列優點，有巨大的應用前景和經濟效益，被公認為21世紀的重點發展高科技前沿學科。
本書主要從普及的角度介紹微機電係統及其相關技術，全書共分為12章，分彆對微機電係統的定義、起源及研究現狀、製造技術、係統構成、設計技術進行瞭深入淺齣、通俗易懂的介紹。本書的特點是信息量大、係統全麵，包含瞭微機電係統製造過程中微機械加工、微封裝、微檢測各個環節；微機電係統構成中的各種微傳感器、微執行器、微構件、微係統的工作機理；先進的微機電係統設計技術以及計算機輔助技術；多種設計手段和實用軟件。
本書可供希望瞭解或采用微機電係統的工程技術人員閱讀，也可作為機械工程類學生學習專業等選修課時的教學參考書。
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