具體描述
本書以薄膜材料為中心，係統地介紹瞭薄膜技術中常用的真空技術基礎知識，各種物理和化學氣相沉積技術和方法，薄膜材料的形核及生長理論，薄膜材料微觀結構的形成以及薄膜材料的厚度、微觀結構和成分的錶徵方法等。在此基礎上，本書還有選擇地討論瞭薄膜材料在力學、光電子學、磁學等領域的典型應用實例，其中涉及各種機械防護塗層、金剛石膜、光電子器件、集成光學器件、磁記錄及光記錄介質材料等技術。
本書可作為高等學校材料、物理及相關專業本科生、研究生及老師的教學參考書，也可供從事薄膜材料製備、研究的工程技術人員參考
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教材。Course material for thin-film physics. 2017-3-1
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